[发明专利]一种柔性复合透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：包括柔性衬底及依次置于柔性衬底上的金属氧化物膜、中间金属层膜，以及金属纳米线膜。

2.根据权利要求1所述的一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：所述中间金属层膜的材料为银、金，或者二者的合金。

3.根据权利要求1或2所述的一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：中间金属层膜的厚度为5nm～25nm。

4.根据权利要求1所述的一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：所述金属氧化物膜为ITO薄膜、AZO薄膜、IZO薄膜或IGZO薄膜，膜厚介于20nm～100nm之间。

5.根据权利要求1所述的一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：所述金属纳米线膜为银纳米线膜，膜厚为金属纳米线长度的2～5倍。

6.根据权利要求1或5所述的一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：所述的金属纳米线的直径为30nm～180nm，长度为30μm～200μm。

7.根据权利要求1或5所述的一种柔性复合透明导电薄膜，其特征在于：所述的金属氧化物膜、中间金属层膜，以及金属纳米线膜的厚度保证柔性复合透明导电薄膜在可见光范围400nm～700nm内的平均透光率可达82％以上，平均方块电阻小于7.5Ω/□。

8.一种柔性复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：依次在柔性衬底上制备金属氧化物膜、中间金属膜和金属纳米线膜，其中，金属氧化物膜和中间金属膜采用磁控溅射工艺制备，金属纳米线膜采用涂布工艺制备。

9.根据权利要求8所述的一种柔性复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述金属氧化物膜是在氩气和氧气的混合气氛内进行，中间金属膜是在氩气气氛内进行；磁控溅射制备金属氧化物时，衬底的温度为25℃～220℃，磁控溅射制备中间金属膜时，衬底的温度为室温；磁控溅射制备金属氧化物和中间金属膜的其他条件为：本底真空：1.0×10^-3Pa～3.0×10^-3Pa；溅射压强：0.2Pa～0.8Pa；溅射功率：30W～200W。

10.根据权利要求8所述的一种柔性复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述的金属纳米线膜是在室温下以50mm/s～200mm/s的速度进行涂布。