[发明专利]固态摄像器件和电子装置有效
申请号: | 201710051033.2 | 申请日: | 2014-05-09 |
公开(公告)号: | CN106847850B | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 中村良助;古闲史彦;渡部泰一郎 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 姚鹏;曹正建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 摄像 器件 电子 装置 | ||
1.一种固态摄像器件,其包括:
半导体基板;
光电转换层,所述光电转换层形成在所述半导体基板中;
晶体管,所述晶体管具有栅极电极,所述栅极电极的至少一部分嵌入在所述半导体基板中;以及
电荷传输层,所述电荷传输层被设置成与所述栅极电极的底部表面相邻;
其中,
所述光电转换层和所述电荷传输层在所述半导体基板的深度方向上被形成在所述栅极电极的被嵌入的至少一部分的正上方,并且
所述晶体管被构造用来经由所述栅极电极和所述电荷传输层从被形成在所述栅极电极的所述至少一部分的正上方的所述光电转换层读取信号电荷。
2.根据权利要求1所述的固态摄像器件,其中,所述光电转换层是在所述半导体基板的深度方向上设置的多个光电转换层中的一个。
3.根据权利要求1所述的固态摄像器件,其中,所述光电转换层具有第一导电类型,并且所述电荷传输层是连接至所述光电转换层的一部分的所述第一导电类型的杂质扩散层。
4.根据权利要求2所述的固态摄像器件,其中,所述光电转换层具有第一导电类型,并且所述电荷传输层是连接至所述光电转换层的一部分的所述第一导电类型的杂质扩散层。
5.根据权利要求1所述的固态摄像器件,其中,所述电荷传输层用作信号电荷的传输路径并且用作附加光电转换层。
6.根据权利要求2所述的固态摄像器件,其中,所述电荷传输层用作信号电荷的传输路径并且用作附加光电转换层。
7.根据权利要求4所述的固态摄像器件,其中,所述电荷传输层用作信号电荷的传输路径并且用作附加光电转换层。
8.根据权利要求1所述的固态摄像器件,其中,所述栅极电极填充所述半导体基板中的凹部。
9.根据权利要求2所述的固态摄像器件,其中,所述栅极电极填充所述半导体基板中的凹部。
10.根据权利要求4所述的固态摄像器件,其中,所述栅极电极填充所述半导体基板中的凹部。
11.根据权利要求1所述的固态摄像器件,其中,所述栅极电极填充所述半导体基板中的凹部,并且所述电荷传输层用作信号电荷到所述栅极电极的传输路径。
12.根据权利要求2所述的固态摄像器件,其中,所述栅极电极填充所述半导体基板中的凹部,并且所述电荷传输层用作信号电荷到所述栅极电极的传输路径。
13.根据权利要求4所述的固态摄像器件,其中,所述栅极电极填充所述半导体基板中的凹部,并且所述电荷传输层用作信号电荷到所述栅极电极的传输路径。
14.根据权利要求8所述的固态摄像器件,其还包括:
第二导电类型的暗电流抑制层,所述暗电流抑制层与所述凹部的底面和所述电荷传输层接触。
15.根据权利要求9所述的固态摄像器件,其还包括:
第二导电类型的暗电流抑制层,所述暗电流抑制层与所述凹部的底面和所述电荷传输层接触。
16.根据权利要求10所述的固态摄像器件,其还包括:
第二导电类型的暗电流抑制层,所述暗电流抑制层与所述凹部的底面和所述电荷传输层接触。
17.根据权利要求8所述的固态摄像器件,其中,所述电荷传输层与所述凹部的底面和所述凹部的侧面的一部分相邻。
18.根据权利要求9所述的固态摄像器件,其中,所述电荷传输层与所述凹部的底面和所述凹部的侧面的一部分相邻。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的