[发明专利]一种双摄工艺

权利要求书

1.一种双摄工艺，其特征在于，包括以下步骤：

（1）中片清洗，然后用丝网印刷技术在中片上印刷需要的图案；

（2）再次清洗中片，随后将四片中片贴于贴膜中部，晶圆环沿贴膜周缘贴于贴膜上，形成片材组件；

（3）利用激光切割机将片材组件上的中片切割成若干丝印小片，然后扩膜；

（4）取镜座，并对镜座进行离子轰击表面处理；

（5）摆镜座，将镜座摆放于基板上，每个镜座具有并排的两个小片孔位；

（6）点胶贴片，利用胶水，将丝印小片贴覆于小片孔位上，形成成品组件，

（7）对成品组件检测。

2.根据权利要求1所述的一种双摄工艺，其特征在于，步骤（4）中，在对镜座进行离子轰击表面处理前还需依次对镜座进行超声波清洗和烘烤。

3.根据权利要求1所述的一种双摄工艺，其特征在于，步骤（6）还包括步骤：依次对成品组件进行烘烤，离子轰击表面处理和清洗。

4.根据权利要求1所述的一种双摄工艺，其特征在于，所述图案为网格图案，丝印小片为矩形小片。

5.根据权利要求1所述的一种双摄工艺，其特征在于，所述丝印小片的同心度小于30um。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种双摄工艺，其特征在于，所述基板包括底板和凸出底板表面的限位组件，所述限位组件由四个角限位件组成，每个角限位件均具有凹口，所述凹口的开口侧与丝印小片的一个角相对。

7.根据权利要求1所述的一种双摄工艺，其特征在于，步骤（2）中每片贴膜中部贴有4片中片，所述晶圆环为金属环。