[发明专利]一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法

权利要求书

1.一种声表面波谐振器型加速度计结构，其特征在于：包括压电基片（1）、制作于压电基片（1）上的声表面波谐振器金属指（2）和叠加在声表面波谐振器金属指（2）之上且与声表面波谐振器金属指（2）同形的可浮动的质量载荷指（4），所述声表面波谐振器金属指（2）包括声表面波谐振器叉指换能器的金属叉指（21）、声表面波谐振器反射器的金属反射指（22），所述质量载荷指（4）通过制作在声表面波谐振器金属指（2）两端声表面波谐振器汇流电极（3）上的锚锭（5）支撑在声表面波谐振器金属指（2）之上，质量载荷指（4）中部下垂，与其下方的声表面波谐振器金属指（2）局部接触。

2.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器型加速度计结构，其特征在于：所述压电基片（1）的材料为ST切型石英单晶，或者YZ切型铌酸锂单晶。

3.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器型加速度计结构，其特征在于：所述声表面波谐振器金属指（2）、汇流电极（3）的材料为铝、铝铜合金或者金。

4.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器型加速度计结构，其特征在于：所述质量载荷指（4）的材料为铝、铝铜合金、金、二氧化硅或者氮化硅；当质量载荷指（4）的材料为铝、铝铜合金或金，锚锭（5）的材料为二氧化硅或氮化硅；当质量载荷指（4）的材料为二氧化硅或者氮化硅，锚锭（5）的材料为铝、铝铜合金、金、二氧化硅或者氮化硅。

5.一种声表面波谐振器型加速度计结构的测量方法，其特征是：声表面波谐振器型加速度计结构包括压电基片（1）、制作于压电基片（1）上的声表面波谐振器金属指（2）和叠加在声表面波谐振器金属指（2）之上且与声表面波谐振器金属指（2）同形的可浮动的质量载荷指（4），所述声表面波谐振器金属指（2）包括声表面波谐振器叉指换能器的金属叉指（21）、声表面波谐振器反射器的金属反射指（22），所述质量载荷指（4）通过制作在声表面波谐振器金属指（2）两端声表面波谐振器汇流电极（3）上的锚锭（5）支撑在声表面波谐振器金属指（2）之上，质量载荷指（4）中部下垂，与其下方的声表面波谐振器金属指（2）局部接触；

若声表面波谐振器型加速度计结构作向下的加速运动，上层质量载荷指（4）上浮，质量载荷指（4）与其下方的声表面波谐振器金属指（2）部分或全部脱离，质量载荷指（4）对下层的声表面波谐振器金属指（2）的压力减小，声表面波谐振器金属指（2）的等效质量因此而减小，声表面波谐振器谐振频率向高端偏移；

若声表面波谐振器型加速度计结构作向上的加速运动，上层质量载荷指（4）下沉，质量载荷指（4）与其下方的声表面波谐振器金属指（2）的接触面增加，对声表面波谐振器金属指（2）的压力增大，声表面波谐振器金属指（2）的等效质量因此而增大，声表面波谐振器谐振频率向低端偏移；

检测声表面波谐振器谐振频率的偏移量，就可以测定声表面波谐振器型加速度计结构的运动加速度。

6.根据权利要求5所述的一种声表面波谐振器型加速度计结构的测量方法，其特征在于：所述压电基片（1）的材料为ST切型石英单晶，或者YZ切型铌酸锂单晶。

7.根据权利要求5所述的一种声表面波谐振器型加速度计结构的测量方法，其特征在于：所述声表面波谐振器金属指（2）、汇流电极（3）的材料为铝、铝铜合金或者金。

8.根据权利要求5所述的一种声表面波谐振器型加速度计结构的测量方法，其特征在于：所述质量载荷指（4）的材料为铝、铝铜合金、金、二氧化硅或者氮化硅；当质量载荷指（4）的材料为铝、铝铜合金或金，锚锭（5）的材料为二氧化硅或氮化硅；当质量载荷指（4）的材料为二氧化硅或者氮化硅，锚锭（5）的材料为铝、铝铜合金、金、二氧化硅或者氮化硅。