[发明专利]一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟有效
申请号: | 201710048030.3 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN106637141B | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 何达能;方结彬;秦崇德;王建迪;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L31/18 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 孔凡亮 |
地址: | 528100 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 镀膜 石墨 | ||
本发明公开了一种太阳能电池镀膜石墨舟片,包括石墨舟片本体,在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。与现有技术相比,本发明在人工插片或机器插片时,电磁铁没通电,弹簧卡槽打开,较大的卡槽空间避免硅片与石墨舟片之间的摩擦;插片完成后,电磁铁通电,在电磁铁吸力的作用下弹簧卡槽收缩将硅片固定在石墨舟片本体内,具有避免硅片的表面产生划痕,减少太阳能电池产品的不良率的优点。本发明专利还提供一种带有前述石墨舟片的一种太阳能电池镀膜石墨舟。
技术领域
本发明涉及太阳能电池镀膜治具技术领域,尤其涉及一种太阳能电池镀膜石墨舟片和石墨舟。
背景技术
在光伏太阳能行业,太阳能电池的制造要经过制绒,扩散,刻蚀,镀膜,丝网印刷和烧结六大工序。其中,镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜,减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。
目前,光伏行业大多采用管式PECVD对硅片镀膜,硅片通过手动或者机械动力插入石墨舟内,然后将石墨舟放入炉管中镀膜。石墨舟的单元舟片上设置有若干个固定卡槽,将硅片进行固定。由于卡槽的槽内尺寸较小,在插片过程中,硅片的表面容易被划伤,形成划痕,导致产生较多不合格产品。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能减少太阳能电池在镀膜工艺过程中硅片表面划伤的石墨舟片。
为实现上述目的,本发明所采用的技术方案为:一种太阳能电池镀膜石墨舟片,包括石墨舟片本体,在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。
与现有技术相比,本发明通过在石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁,在人工插片或机器插片时,电磁铁没通电,弹簧卡槽打开,较大的卡槽空间避免硅片与石墨舟片之间的摩擦;插片完成后,电磁铁通电,在电磁铁吸力的作用下弹簧卡槽收缩将硅片固定在石墨舟片本体内,具有避免硅片的表面产生划痕,减少太阳能电池产品的不良率的优点。
作为本发明的一种改进,所述石墨舟片本体为中空结构。
作为本发明的一种改进,所述弹簧卡槽包括两个支架及两端分别与所述支架连接的弹簧。
作为本发明的一种改进,所述支架为L型。
作为本发明的一种改进,所述电磁铁位于两个所述支架之间。
作为本发明的一种改进,所述弹簧设置在所述石墨舟片本体的中空结构内部,所述支架局部位于所述石墨舟片本体的外侧。
作为本发明的另一种改进,所述支架的长度、宽度和高度均为2至5毫米。
作为本发明的另一种改进,所述电磁铁和所述弹簧卡槽的数量均为三个。
本发明还提出一种石墨舟,包括若干个前述的太阳能电池镀膜石墨舟片,若干个所述太阳能电池镀膜石墨舟片均匀分布在太阳能电池镀膜石墨舟内。
作为本发明的另一种改进,所述太阳能电池镀膜石墨舟片的厚度为8-10毫米。
附图说明
图1为本发明石墨舟片的结构示意图。
图2为本发明石墨舟的结构示意图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的