[发明专利]等离子体光谱分析装置

权利要求书

1.一种等离子体光谱分析装置，其具备：

试样导入部，其用于生成并送出包含待分析试样的喷射气体，

等离子体生成部，其用于生成待导入所述喷射气体的等离子体，以及

分析部，其设置在所述等离子体生成部的后段、用于对所述待分析试样进行分析，

其中，

所述等离子体光谱分析装置具备：

第一气体管线，其用于向所述试样导入部供给气体，

第二气体管线，其用于向所述等离子体生成部供给气体，以及

过滤器，其设置于所述第一气体管线、用于除去待供给至所述试样导入部的气体中包含的杂质，其中，

流过所述第一气体管线的气体的流量小于流过所述第二气体管线的气体的流量。

2.根据权利要求1所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述第一气体管线及所述第二气体管线从源气体管线分支。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述过滤器为气体纯化器。

4.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述第一气体管线分支成第三气体管线及第四气体管线，且第三气体管线及第四气体管线中的一者将载气传输至所述试样导入部、另一者将补充气体传输至所述试样导入部。

5.根据权利要求4所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述过滤器分别位于所述第三气体管线及所述第四气体管线。

6.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述第二气体管线分支成第五气体管线及第六气体管线，且第五气体管线及第六气体管线中的一者将等离子体气体传输至所述等离子体生成部、另一者将辅助气体传输至所述等离子体生成部。

7.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，用于向所述等离子体生成部传输辅助气体的第七气体管线从所述第一气体管线分支。

8.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，用于向所述试样导入部传输稀释气体的第八气体管线从所述第一气体管线分支。

9.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其进一步包含：

任选气体管线，其用于向所述试样导入部供给任选气体，及

第二过滤器，其设置于所述任选气体管线、用于除去任选气体中包含的杂质，

所述任选气体是包含氧的气体，其选自氧、包含氩的氧、包含氮的氧、包含氦的氧、及它们的混合物。

10.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，分别通过所述第一及第二气体管线被供给的气体选自氩、氮、氦、氢、及它们的混合物。

11.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述试样导入部包含雾化器，该雾化器用于将所述待分析试样和来自所述第一气体管线的气体混合而生成所述喷射气体。

12.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述喷射气体从气相色谱仪输出。

13.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述喷射气体从激光烧蚀装置输出。

14.根据权利要求1或2所述的等离子体光谱分析装置，其中，所述等离子体生成部包含等离子体炬，该等离子体炬用于接收来自所述第二气体管线的气体、并生成待导入所述喷射气体的等离子体。