[发明专利]一种微波管电子枪膨胀量测量装置及方法

权利要求书

1.一种微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，包括：

支架，置于电子枪聚束极的上方，其设有第一圆形孔和第二圆形孔；

第一陶瓷杆，插入所述第一圆形孔中；聚束极的位置变化引起支架的位置变化并随之带来第一陶瓷杆的位置变化；

第二陶瓷杆，插入所述第二圆形孔中，通过所述第二圆形孔与电子枪的阴极接触；

真空装置，电子枪及支架固定于所述真空装置中；及

读数显微镜，置于真空装置的工作台面上，用于记录第一陶瓷杆和第二陶瓷杆的位置变化。

2.根据权利要求1所述的微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，所述真空装置包括：

真空系统，电子枪的热子与真空系统相连；

石英钟罩，与橡胶密封圈配合使用并与真空系统之间实现密封的真空连接。

3.根据权利要求1所述的微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，所述第一圆形孔为圆形盲孔，所述第二圆形孔为圆形通孔，第一陶瓷杆的下方与所述第一圆形孔底部接触，第二陶瓷杆下方通过第二圆形孔与电子枪的阴极中心表面处接触。

4.根据权利要求1所述的微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，第一陶瓷杆和第二陶瓷杆均采用氧化铝陶瓷。

5.根据权利要求1所述的微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，所述支架为不锈钢支架。

6.根据权利要求2所述的微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，还包括：

电气控制系统，与真空系统连接，用于对电子枪进行电流和电压加载，用于对真空系统内的真空度进行监测，并对真空系统和电子枪进行控制。

7.根据权利要求6所述的微波管电子枪膨胀量测量装置，其特征在于，所述电气控制系统为PLC控制系统，所述PLC控制系统包括：真空计、分子泵电源、稳压电源、离子泵电源、灯丝电源及触摸显示屏。

8.一种利用权利要求3-7任一项所述的微波管电子枪膨胀量测量装置的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

将电子枪及支架固定于真空装置中，并将支架置于电子枪聚束极的上方，其圆形通孔中心与阴极中心对齐；

将第一陶瓷杆插入支架的圆形盲孔、将第二陶瓷杆插入支架的圆形通孔，使第一陶瓷杆的下方与所述圆形盲孔底部接触，第二陶瓷杆下方通过圆形通孔与电子枪的阴极中心表面处接触；

对真空装置抽真空，真空度≤3.0×10^-4Pa时，对电子枪加载电流和电压，电流变化范围0-25A；

将读数显微镜置于真空装置的工作台面上，调整显微镜零位刻度线分别与第一陶瓷杆和第二陶瓷杆的上方在一条水平线上，记录第一陶瓷杆和第二陶瓷杆的上方在电子枪电流增大过程中的高度变化，根据第一陶瓷杆和第二陶瓷杆的高度变化和两者之间的高度差可以分别计算出阴极、聚束极以及阴极相对于聚束极的膨胀量。

9.根据权利要求8所述的测量方法，其特征在于，还包括以下步骤：

对真空装置抽真空之前，将石英钟罩通过橡胶密封圈与真空系统实现密封的真空连接。

10.根据权利要求8或9所述的测量方法，其特征在于，电子枪加载电流使得阴极表面被加热，真空装置中真空度发生变化，真空度优于2×10^-4Pa时逐步加电流1A～2A，防止真空度过低导致阴极中毒。