[发明专利]一种射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法在审
| 申请号： | 201710037995.2 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106868461A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 唐霞辉;张青之;杨卫红;彭浩;秦应雄;胡千;李思索 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人： | 赵伟 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 板条 co2 激光器 电极 表面 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)依次采用溶剂清洗和电化学清洗的方法对射频板条CO2激光器电极进行清洗；
(2)将清洗后的射频板条CO2激光器电极置于预热的真空环境下加热烘干、并进行离子轰击清洗；
(3)在负偏压、真空条件下，在Ar气氛下给射频板条CO2激光器电极镀Al膜，形成铝靶；
(4)提高溅射温度，在O2和Ar气氛下通过溅射镀膜在铝靶表面氧化生成Al2O3薄膜。
2.如权利要求1所述的射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法，其特征在于，所述步骤(4)中采用恒功率溅射，溅射功率250W。
3.如权利要求1或2所述的射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法，其特征在于，所述步骤(4)的溅射气压为0.087～0.065Pa。
4.如权利要求1或2所述的射频板条CO2激光器电极表面镀膜方法，其特征在于，所述步骤(4)中O2气氛的浓度为16％～22％。
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