[发明专利]一种阵列型MEMS气体传感器在审
| 申请号： | 201710037812.7 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN106802339A | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 王宏臣;邱栋 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)37234 | 代理人： | 刘志毅 |
| 地址： | 264000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 mems 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于，包括包含读出电路的基底和设置基底上至少两个不同的呈矩阵排列的MEMS气体传感器，所述MEMS气体传感器表面涂覆渗透选择性薄膜，所述渗透选择性薄膜为二氧化硅薄膜或疏水性聚合物薄膜，孔径尺寸为5～500nm。
2.根据权利要求1所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于，所述MEMS气体传感器为半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器中的至少两种。
3.根据权利要求1所述的一种阵列型MEMS气体传感器，其特征在于，所述介质层为二氧化硅或氮化硅。
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