[发明专利]一种改善柔性打印有机薄膜晶体管的制作方法在审
申请号: | 201710036521.6 | 申请日: | 2017-01-18 |
公开(公告)号: | CN106784315A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 叶尚辉;郭丽峰;魏昂;周舟;黄维 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01L51/40 | 分类号: | H01L51/40;H01L51/05 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 210023 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 柔性 打印 有机 薄膜晶体管 制作方法 | ||
技术领域
本发明属于有机场效应晶体管的制备方法领域,尤其涉及到一种改善柔性打印有机薄膜晶体管的制作方法。
背景技术
无机电子器件问世以后,基于有机半导体的电子器件的应用前景随着时间的推移而越发广阔,比如有机太阳能电池、有机发光二极管、有机场效应晶体管、有机光电存储器等纳米器件。其中,有机场薄膜晶体管,简称organic thin-film transistor(OTFT),在经历了多年的调查研究后,其颇具吸引力的特征逐渐映入大众眼帘。
OTFT的独特优势在于它可实现大面积机械柔性显示,同时拥有高性能、低功耗、低成本和易加工等技术特点,作为显示器色彩丰富清晰。如今对于OTFT的追求之一在于进一步地缩短响应时间提升其性价比,诸多的努力也使得OTFT在环境生物等领域的传感检测方面有用武之地。比如,Narayan和他的团队最初研究出的一种基于poly(3-octylthiophene-2,5-diyl)的OTFT光传感器,就已经可以获得100的开关电流的比(K.S.Narayan and N.Kumar,Appl.Phys.Lett.2001,79,1891-1893).。由此,各国各公司、高等院校和科研院所开始紧张密集地研究,以角逐这个行业的龙头老大,争取研发OTFT应用产品的一席之地。
OTFT中使用的有机材料基本可分为两类,一是聚合物,比如商业化药品poly(3-hexylthiophene),简称P3HT;另一类则是小分子,典型例子则是并五苯。由于众多聚合物中强大的π-π键间作用可以大大促进载流子的传输,越来越多的研究致力于各种能改善OTFT载流子迁移率、电流开关比、阈值电压和亚阈值摆幅等性能参数的有机新型功能材料的使用。为了进一步增强OTFT性能,努力工作主要集中在以下几个方面:(1)研究探寻合成路线以构建出更利于载流子传输的材料模型,主要用于活性层、介电层和部分修饰层材料材料。(2)与传统的涂膜技术相比较,溶液法等新型途径获得的有机薄膜在大面积、低成本的OTFT器件制备技术中更有潜在优势。甚至在2014年,S.Tiwari等人发现悬浮膜转移法获得的OTFT电学性能比旋涂膜法制备的器件效果更佳(S.Tiwari,W.Takashima,S.Nagamatsu,S.K.Balasubramanian,and R.Prakash,J.Appl.Phys.2014,116,094306)。(3)由于载流子流经的活性层与介电层的距离仅为几个分子的厚度,所以半导体和介电层的界面效应成为改善OTFT性能的重要方式之一,通过适当的界面修饰或自组装处理可以显著提升其载流子迁移率(X.Zhao,Q.Tang,H.Tian,Y.Tong,and Y.Liu,Org.Electron.2015,16,171-176)。(4)此外,越来越多的小组开始在活性层中掺杂各种有机分子,以此进一步增强其导电性。不同有机材料的掺杂浓度会导致OTFT活性层表面形貌的变化,部分还会由于结晶度的差异影响其性能(H.Kleemann,C.Schuenemann,A.A.Zakhidov,M.Riede,B.Lüssem,and K.Leo,Org.Electron.2012,13,58-65)。
虽然我国的科研水平与发达国家几乎同步,但是OTFT经典活性层材料的单一使用使得性价比无法进一步提升,导致基于OTFT器件的产业化生产应用明显不足。
发明内容
解决的技术问题:针对传统经典材料的频繁使用致使制备成本过高、制备OTFT工艺手段较为复杂、传统器件能耗太大等技术问题,本发明提供一种改善柔性打印有机薄膜晶体管的制作方法,成本低廉,工艺简单,能耗较低。
技术方案:一种改善柔性打印有机薄膜晶体管的制作方法,包括以下步骤:
步骤一:将相片纸分别用去离子水和氮气清理表面;
步骤二:将经过步骤一处理的相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热;
步骤三:在经过步骤二处理的相片纸上打印银电极,将相片纸置于培养皿中放入真空干燥箱加热;
步骤四:将BFTII和P3HT混合后用氯仿做溶剂配成混合溶液,在所述混合溶液打印在经过步骤三处理的相片纸上的银电极沟道中,然后进行热退火处理,BFTII的分子结构如下:
步骤五:在经过步骤四处理的相片纸上打印介电层,将相片纸置于培养皿中放在真空干燥箱中加热;
步骤六:涂紫外固化胶进行紫外固化,盖上玻璃片后封装完毕。
作为优选,所述相片纸切割尺寸为1.6cm×1.4cm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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