[发明专利]L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法

权利要求书

1.L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S10：制备牺牲层；

步骤S20：在牺牲层上涂镀第一光刻胶层，利用第一掩模对准器并通过紫外光对第一光刻胶层进行图形化曝光光刻处理；

步骤S30：在第一光刻胶层上涂镀第二光刻胶层，利用第二掩模对准器并通过紫外光对第二光刻胶层进行图形化曝光光刻处理；

步骤S40：对第一光刻胶层、第二光刻胶层的曝光区域进行显影，并采用化学方法除去第一光刻胶层的未曝光区域和第二光刻胶层的未曝光区域，使得剩余的第一光刻胶层和第二光刻胶层共同形成L型结构；

步骤S50：对远离牺牲层的L型结构的表面溅射沉积导电金属层，并除去牺牲层。

2.如权利要求1所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，在步骤S20中，在涂镀完成第一光刻胶层之后，在进行图形化曝光光刻处理之前，对涂镀完成的第一光刻胶层进行第一次加热烘烤。

3.如权利要求2所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，在步骤S20中，在图形化曝光光刻处理完成之后进行第二次加热烘烤，并在第二次烘烤完成之后将第一光刻胶层冷却至室温。

4.如权利要求3所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，在步骤S30中，在涂镀完成第二光刻胶层之后，在进行图形化曝光光刻处理之前，对涂镀完成的第二光刻胶层进行第三次加热烘烤。

5.如权利要求4所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，在步骤S30中，在对第二光刻胶层完成图形化曝光光刻处理之后进行第四次加热烘烤。

6.如权利要求5所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，第一次加热烘烤、第二次加热烘烤、第三次加热烘烤以及第四次加热烘烤均包括两个烘烤阶段：第一个烘烤阶段的加热温度范围为60℃至70℃，第二烘烤阶段的加热温度范围为90℃至100℃；其中，第一次加热烘烤与第三次加热烘烤的第一个烘烤阶段的烘烤时间范围为2min至3min，第一次加热烘烤与第三次加热烘烤的第二个烘烤阶段的烘烤时间范围为4min至6min，第二次加热烘烤与第四次加热烘烤的两个烘烤阶段的烘烤时间范围均为2min至3min。

7.如权利要求1至6中任一项所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，第一光刻胶层的厚度范围以及第二层光刻胶层的厚度范围分别为30μm至40μm。

8.如权利要求7所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，导电金属层的厚度范围为180nm至220nm。

9.如权利要求7所述的L型静电驱动微型机器人的制造方法，其特征在于，对第一光刻胶层进行图形化曝光光刻处理的时间以及对第二光刻胶层进行图形化曝光光刻处理的时间均范围为30s至40s。

10.L型静电驱动微型机器人，其特征在于，该L型静电驱动微型机器人包括L型结构与导电部，该L型结构为权利要求1至9中任一项所述的制造方法所制成的L型结构，L型结构放置在导电部上，其中，L型结构包括第一光刻胶层、第二光刻胶层以及导电金属层；第一光刻胶层与第二光刻胶层依次叠置，并且第一光刻胶层与第二光刻胶层形成L形状，导电金属层覆盖在第一光刻胶层与第二光刻胶层上。

11.L型静电驱动微型机器人的控制方法，其特征在于，该控制方法用于控制权利要求10所述的L型静电驱动机器人进行运动；

将L型静电驱动微型机器人的L型结构放置在L型静电驱动微型机器人的导电部上，且使L型结构的两端部分别与导电部的表面接触；

在导电部上加载电压，并使所加载的电压震荡，以控制L型结构产生形变而移动。