[发明专利]用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物

权利要求书

1.一种用于含铜和钛的金属层的蚀刻液组合物，基于所述组合物的总重量，包含：

5wt％～20wt％的过硫酸盐；

0.01wt％～2wt％的氟化合物；

1wt％～10wt％的选自无机酸、无机酸盐及它们的混合物中的一种或多种；

0.3wt％～5wt％的环状胺化合物；

0.01wt％～5wt％的氯化合物；以及

其余为水。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其中所述过硫酸盐选自由过硫酸铵、过硫酸钠及过硫酸钾组成的组。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其中所述氟化合物选自由氟化铵、氟化钠、氟化钾、氟化氢铵、氟化氢钠及氟化氢钾组成的组。

4.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其中所述无机酸选自由硝酸、硫酸、磷酸及过氯酸组成的组，并且所述无机酸盐选自由硝酸盐、硫酸盐、磷酸盐及过氯酸盐组成的组。

5.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其中所述环状胺化合物选自由5-氨基四唑、甲苯基三唑、苯并三唑及甲基苯并三唑组成的组。

6.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其中所述氯化合物选自由氢氯酸、氯化钠、氯化钾及氯化铵组成的组。

7.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其中所述蚀刻液组合物进一步包括硫酸铜。