[发明专利]一种涂胶系统及其涂胶修复方法有效
申请号: | 201710026256.3 | 申请日: | 2017-01-13 |
公开(公告)号: | CN106733489B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 谷丰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B05C9/14 | 分类号: | B05C9/14;B05C5/02 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 涂胶 系统 及其 修复 方法 | ||
1.一种涂胶系统,其特征在于,包括:
用于对固定在安装台上的基板进行涂胶的涂胶单元;
用于对基板的涂胶进行检测的检测单元;
用于对检测单元检测到的基板上的不合格涂胶进行除胶的清洁单元;
用于对除胶后的清除涂胶区域进行涂胶修复的修复单元;
驱动单元,所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元安装在所述驱动单元上,所述驱动单元用于驱动所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元移动;
控制单元,与所述涂胶单元、所述检测单元、所述清洁单元、所述修复单元和所述驱动单元连接,用于控制所述涂胶单元对固定在安装台上的基板进行涂胶,所述检测单元对基板上的涂胶进行检测,在检测到存在不合格涂胶时,所述清洁单元清除基板上不合格涂胶区域的涂胶,所述修复单元对基板上清除涂胶区域进行涂胶修复;所述驱动单元包括:
第一驱动机构;
第二驱动机构、第三驱动机构和第四驱动机构,均安装在所述第一驱动机构上,所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元对应安装在所述第二驱动机构、所述第三驱动机构和所述第四驱动机构上;
所述第一驱动机构可带动所述第二驱动机构、所述第三驱动机构、所述第四驱动机构、所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元一起沿所述基板的纵向移动,所述第二驱动机构、所述第三驱动机构和所述第四驱动机构可对应带动所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元沿所述基板的横向移动。
2.根据权利要求1所述的涂胶系统,其特征在于,所述驱动单元还包括:
第五驱动机构、第六驱动机构和第七驱动机构,对应安装在所述第二驱动机构、所述第三驱动机构和所述第四驱动机构上,所述检测单元、所述清洁单元和所述修复单元对应安装在所述第五驱动机构、所述第六驱动机构和所述第七驱动机构上;
所述第五驱动机构、所述第六驱动机构和所述第七驱动机构可对应带动所述第二驱动机构、所述第三驱动机构和所述第四驱动机构沿所述基板的高度方向移动。
3.根据权利要求1或2所述的涂胶系统,其特征在于,还包括:
安装在所述驱动单元上的干燥单元,用于对基板上的涂胶进行干燥。
4.根据权利要求3所述的涂胶系统,其特征在于,还包括:
所述安装台。
5.根据权利要求1或2所述的涂胶系统,其特征在于,所述清洁单元和所述修复单元均包括有喷嘴,且所述清洁单元和所述修复单元的喷嘴的口径相同。
6.根据权利要求1或2所述的涂胶系统,其特征在于,所述检测单元为粒子扫描检测装置,所述基板为玻璃基板。
7.一种涂胶系统的涂胶修复方法,其特征在于,控制单元控制检测单元对基板上的涂胶进行检测,在检测到基板上的涂胶存在不合格涂胶时,控制单元控制清洁单元清除基板上不合格涂胶区域的涂胶,控制单元再控制修复单元对清除涂胶区域进行涂胶修复;
其中,控制单元通过控制第一驱动机构、第二驱动机构和第五驱动机构来控制检测单元移动,控制单元通过控制第一驱动机构、第三驱动机构和第六驱动机构来控制清洁单元移动,控制单元通过控制第一驱动单元、第四驱动单元和第七驱动单元来控制修复单元移动。
8.根据权利要求7所述的涂胶系统的涂胶修复方法,其特征在于,在涂胶修复完成后,所述控制单元控制检测单元再对基板上涂胶修复区域的涂胶进行检测,在检测到涂胶修复区域的涂胶存在不合格涂胶时,对涂胶修复区域重复进行清洁涂胶、涂胶修复和检测的动作,直至检测到基板上的涂胶不存在不合格涂胶为止。
9.根据权利要求7或8所述的涂胶系统的涂胶修复方法,其特征在于,采用涂胶单元对基板的表面进行涂胶。
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B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
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B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
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B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作