[发明专利]基于石榴石的光学漏电流测试装置在审
| 申请号： | 201710024518.2 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106872756A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 柏雪;赵新未;郝蕊蕊;潘倩;沈杨帆;焦新兵 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根,王晶 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 石榴石 光学 漏电 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石榴石的光学漏电流测试装置，其特征在于，包括激光器、透镜、分束棱镜、第一光强探测器、检测单元、偏振分束棱镜、第二光强探测器和第三光强探测器，其中检测单元由从前到后依次贴合的石榴石模块、石墨以及被测模块组成，石榴石模块固定于石墨上，石墨面积大于石榴石模块面积；激光器发出的激光经过透镜聚焦入射到分束棱镜，被分束为两束光，反射光被第一光强探测采集，透射光进入检测单元入射到石榴石模块上，经过石榴石模块到达石墨，经石墨反射再次穿过石榴石模块形成反射光输出，输出的光进入偏振分束棱镜被分束，反射光被第二光强探测器测得，透射光被第三光强探测器测得，通过第二光强探测器和第三光强探测器检测经过检测单元反射后的光强度分布与第一光强探测器检测的入射光比较，获得被测模块漏电流的信息。
2.根据权利要求1所述基于石榴石的光学漏电流测试装置，其特征在于，所述激光器选用小功率半导体激光器，激光波长900nm-1700nm。
3.根据权利要求1所述基于石榴石的光学漏电流测试装置，其特征在于，所述检测单元入射光与反射光的夹角为10°-150°。
4.根据权利要求1所述基于石榴石的光学漏电流测试装置，其特征在于，所述石墨的厚度范围为10nm-10cm，根据检测的漏电流大小决定所选厚度。
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