[发明专利]一种基于表面微结构改性提高材料抗氧化烧蚀性能的方法

权利要求书

1.一种提高材料抗氧化烧蚀性能的方法，是通过下述步骤对材料基体进行表面微结构改性：

1)配制浓度70％以上磷酸二氢铝水溶液，然后抽真空除去溶液内的气体；

2)将步骤1)抽真空后的磷酸二氢铝水溶液涂覆于基体表面；

3)将涂覆磷酸二氢铝的基体在真空中干燥，磷酸二氢铝变为固态，紧贴于基体表面；

4)将光刻胶涂覆于基体表面的磷酸二氢铝层上，并根据所需表面微结构形状进行紫外线照射，显影，得到光刻胶微结构；

5)将步骤4)处理后基体用弱碱性溶液冲刷，与弱碱性溶液接触的磷酸二氢铝被冲掉，将冲刷后的基体干燥；

6)去除光刻胶，在基体表面得到磷酸二氢铝微结构。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中所述磷酸二氢铝水溶液的浓度为75％，置于烧杯中抽真空5～10min，直到不再有气泡产生。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)涂覆磷酸二氢铝水溶液涂之前，先打磨基体表面，并使基体表面清洁、干燥。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)涂覆磷酸二氢铝的厚度为25～50μm。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3)真空干燥的温度为35℃-45℃。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4)所涂覆的光刻胶的厚度为3μm。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤5)中所述弱碱性溶液为水或pH7-10的KOH或NaOH溶液。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤6)用丙酮冲刷去除光刻胶。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤4)之前，重复操作步骤2)和3)，按需要在基体表面不同区域形成不同厚度的磷酸二氢铝涂层。