[发明专利]一种等离子喷涂柔性电热器件及其制备方法在审
申请号: | 201710021535.0 | 申请日: | 2017-01-12 |
公开(公告)号: | CN106702307A | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 刘建;苏冠贤 | 申请(专利权)人: | 东莞珂洛赫慕电子材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C4/134 | 分类号: | C23C4/134;C23C4/08 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 任哲夫 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 等离子 喷涂 柔性 电热 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种等离子喷涂柔性电热器件,其特征在于,包括依次层叠的柔性基材、电阻层和封装层;所述电阻层上设置有外露于封装层的电极;
所述柔性基材为PI薄膜、PET薄膜或PE薄膜;
所述电阻层通过等离子喷涂方式将电热材料喷涂在柔性基材上形成;所述电热材料为钼粉末、铌粉末、镍粉末、钼合金粉末、铌合金粉末或镍合金粉末;
所述封装层为有机塑料薄膜。
2.根据权利要求1所述一种等离子喷涂柔性电热器件,其特征在于,所述电阻层的厚度为5-50μm。
3.根据权利要求1所述一种等离子喷涂柔性电热器件,其特征在于,所述电热材料的粒径为0.5-50μm。
4.一种如权利要求1所述等离子喷涂柔性电热器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1清洁:清洗柔性基材至柔性基材表面洁净;
S2喷涂:采用现有的等离子喷涂设备将电热材料喷涂于柔性基材的一个表面上,形成电阻层;
S3制电极:在电阻层上制备电极;
S4封装:将有机塑料薄膜帖覆在电阻层的表面,形成封装层;制得柔性电热器件。
5.根据权利要求4所述一种等离子喷涂柔性电热器件的制备方法,其特征在于,步骤S2中,等离子喷涂设备的输出功率为0.5-500kW。
6.根据权利要求5所述一种等离子喷涂柔性电热器件的制备方法,其特征在于,步骤S2中,等离子喷涂设备的送粉气体压力为0.1-5MPa。
7.根据权利要求6所述一种等离子喷涂柔性电热器件的制备方法,其特征在于,步骤S2中,等离子喷涂设备的送粉精度为±1%。
8.根据权利要求7所述一种等离子喷涂柔性电热器件的制备方法,其特征在于,步骤S2中,等离子喷涂设备的送粉速度小于或等于1kg/min。
9.根据权利要求4所述一种等离子喷涂柔性电热器件的制备方法,其特征在于,步骤S2中,等离子喷涂设备的送粉气体为氮气、氩气、氦气和氢气中的至少一种。
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