[发明专利]柔性OLED显示面板及其形成方法在审
| 申请号: | 201710014372.3 | 申请日: | 2017-01-09 |
| 公开(公告)号: | CN108288631A | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
| 发明(设计)人: | 高胜;袁波;徐琳;刘玉成 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 走线 钝化层 去除 柔性基底 平坦化层 断裂的 膜层 缓解 | ||
本发明提供了一种柔性OLED显示面板及其形成方法,在柔性基底上形成钝化层后,至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层,然后在所述柔性基底上形成平坦化层。本发明通过去除走线上方的部分区域的钝化层或者完全去除走线上方的钝化层,缓解了走线与其上方膜层之间的应力,进而降低了走线断裂的几率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种柔性OLED显示面板及其形成方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)因其能耗低、分辨率高、亮度高、发光效率高、响应速度快、视角宽、不需背光源、成本低、驱动电压低等诸多优点,在平板显示和光源等领域具有广泛的研究、应用前景。
让显示器可以自由弯曲已经成为未来各种智能应用的屏幕的发展趋势。与传统的刚性显示器相比,柔性显示器具有诸多优点,例如耐冲击,抗震能力强,重量轻,体积小,携带更加方便等。使用塑料、聚酯薄膜或胶片等材料作为基板,OLED面板可以做到更薄,甚至可以折叠或卷起来,可实现柔性软屏显示和柔性光源。
柔性OLED显示面板通常需要在其边框区域形成各种走线,比如VDD电源走线和VSS电源走线,以为像素单元提供高电压和低电压。然而,实践中发现,在柔性OLED显示面板使用过程中,其边框区域的走线很容易断裂,影响显示效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性OLED显示面板及其形成方法,以减小边框区域的走线断裂的几率。
为解决上述技术问题,本发明提供一种柔性OLED显示面板的形成方法,包括:
提供一柔性基底,所述柔性基底包括显示区和非显示区,所述柔性基底的非显示区内形成有走线;
在所述柔性基底上形成钝化层;
至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层;以及
在所述柔性基底上形成平坦化层。
可选的,在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中,至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层的步骤,包括:去除所述走线上方的部分区域的钝化层,在所述走线上方的钝化层中形成孔洞,所述平坦化层填充至所述孔洞中并覆盖所述钝化层的表面。
可选的,在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中,至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层的步骤,包括:去除所述走线上方的所有区域的钝化层,所述平坦化层覆盖所述走线的表面。
可选的,在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中,所述走线是非显示区内的VDD电源走线和/或非显示区内的VSS电源走线。
可选的,在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中,所述钝化层是含氢的介质层。进一步的,所述钝化层是含氢的氧化硅、含氢的氮化硅以及含氢的氮氧化硅中的一种或多种,所述钝化层通过化学气相沉积以及退火工艺形成。
可选的,在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中,所述平坦化层是聚酰亚胺。
可选的,在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中,在所述柔性基底上形成平坦化层之后,还包括:在所述柔性基底的显示区内依次形成阳极、有机材料功能层和阴极。
根据本发明的另一面,还提供一种柔性OLED显示面板,包括:
柔性基底,所述柔性基底包括显示区和非显示区,所述非显示区内形成有走线;以及
形成于所述柔性基底上的平坦化层;
其中,所述平坦化层覆盖所述走线,或者,所述柔性基底和平坦化层之间设置有一具有孔洞的钝化层,所述平坦化层填充所述孔洞并覆盖所述钝化层的表面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





