[发明专利]竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副

权利要求书

1.一种竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副，其特征在于，包括正六棱柱状的导向基体、能够沿所述的导向基体滑动的溜板体以及安装在所述的导向基体与所述的溜板体之间的第一直线电机和第二直线电机，所述的溜板体包括通过螺钉相连接安装的第一子溜板体和第二子溜板体，所述的第一子溜板体具有第一侧壁、第二侧壁和第三侧壁，所述的第一侧壁上具有三个第一凹槽，所述的第三侧壁上具有三个第三凹槽，所述的第一直线电机的定子通过第一过渡板安装在所述的第二侧壁上；所述的第二子溜板体具有第四侧壁、第五侧壁和第六侧壁，所述的第四侧壁上具有三个第四凹槽，所述的第六侧壁上具有三个第六凹槽，所述的第二直线电机的定子通过第二过渡板安装在所述的第五侧壁上；所述的第一凹槽、所述的第三凹槽、所述的第四凹槽、所述的第六凹槽内均固定设置有多孔质陶瓷材料块，所述的第一子溜板体与所述的第二子溜板体周向抱合在所述的导向基体的外壁上，所述的第一直线电机的动子与所述的第二直线电机的动子沿所述的导向基体的长度方向安装在相对的侧壁上，所述的第一子溜板体的端面上设置有第一气管接头和第三气管接头，所述的第一子溜板体内开设有使所述的第一气管接头与各个所述的第一凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第一通道，所述的第一子溜板体内开设有使所述的第三气管接头与各个所述的第三凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第三通道，所述的第二子溜板体的端面上设置有第四气管接头和第六气管接头，所述的第二子溜板体内开设有使所述的第四气管接头与各个所述的第四凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第四通道，所述的第二子溜板体内开设有使所述的第六气管接头与各个所述的第六凹槽中的多孔质陶瓷材料块之间气贯通的第六通道；

第一子溜板体和第二子溜板体前后对称；第二侧壁位于第一侧壁与第三侧壁之间；第五侧壁位于第四侧壁与第六侧壁之间；第一侧壁、第二侧壁开口处的平面、第三侧壁、第四侧壁、第五侧壁开口处的平面和第六侧壁形成与正六棱柱状导向基体相配合的正六边形；

所述的第一子溜板体上具有第一安装面，所述的第二子溜板体上具有第二安装面，所述的第一子溜板体上具有凹部，从所述的凹部向所述的第一安装面开设有供所述的螺钉穿过的通孔，从所述的第二安装面向所述的第二子溜板体的内部开设有与所述的螺钉相适配的螺纹孔；

所述的溜板体为四棱柱体。

2.如权利要求1所述的导轨副，其特征在于，所述的第一凹槽、所述的第三凹槽、所述的第四凹槽及所述的第六凹槽的槽深度与多孔质陶瓷材料块的厚度相同。

3.如权利要求1或2所述的导轨副，其特征在于，多孔质陶瓷材料块通过树脂胶粘接在对应的凹槽中。

4.如权利要求1所述的导轨副，其特征在于，所述的第一直线电机、所述的第二直线电机均为平板直线电机。