[发明专利]电容式液态金属加速度传感器在审
| 申请号： | 201710011336.1 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN106771363A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张旭东;邓中山;刘静 | 申请（专利权）人： | 云南科威液态金属谷研发有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 汤财宝 |
| 地址： | 655400 云南省曲*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 液态 金属 加速度 传感器 | ||
1.一种电容式液态金属加速度传感器，其特征在于，包括：
固定极板、液态金属极板、电介质层、第一电极和第二电极，所述固定极板和所述液态金属极板相对放置且中间设置有电介质层；
所述第一电极位于所述固定极板远离所述液态金属极板的一侧，所述第二电极位于所述液态金属极板远离所述固定极板的一侧，且所述第一电极与所述第二电极相对设置；
所述液态金属极板包括平板腔体和位于平板腔体内的液态金属；所述第二电极一端伸出所述液态金属极板外，另一端向所述平板腔体内伸出第一预设长度，与平板腔体内的液态金属接触。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二电极与液态金属接触的一端的材料为金、银、钛、镍或石墨。
3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一预设长度为所述液态金属极板厚度的1/5～1/10。
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述平板腔体为真空腔体。
5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述液态金属为导电率满足预设条件且熔点低于预设熔点的金属或其合金。
6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述液态金属为汞、镓、镓基合金、铟基合金或铋基合金。
7.根据权利要求1～6任一项所述的传感器，其特征在于，所述液态金属占所述平板腔体内部体积的1/2～2/3。
8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定极板和所述液态金属极板均通过粘结剂与所述电介质层粘连。
9.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定极板、电介质层以及所述液态金属极板通过固定夹固定在一起。
10.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定极板为石墨、金属或导电聚合物极板。
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