[发明专利]强激光焦斑均匀性在线监测方法

权利要求书

1.一种强激光焦斑均匀性在线监测方法，其特征在于该强激光焦斑均匀性在线监测方法包括以下步骤：

(一)在待监测激光系统打靶光路前端的每一路中设置一个楔形分束镜，且各楔形分束镜的光学性能均相同；

(二)设置与所述打靶光路所采用的光学系统完全相同的监测光学系统；

(三)通过调整所述监测光学系统的方位以及每一个楔形分束镜的方位，由打靶光路中分离出监测光路，并使所述监测光路的结构与各楔形分束镜之后的打靶光路的结构基本相同；

(四)在所述监测光路的焦斑处放置CCD图像传感器，并将所述CCD图像传感器与数据处理系统相连接；

(五)在所述监测光路的焦斑前设置一块第一衰减片，在非放大状态下开启待监测激光系统，调整所述第一衰减片的位置使所述监测光路的各路激光均能通过所述第一衰减片，并将其位置固定在光路系统中，所述第一衰减片的透过率应在待监测激光系统处于非放大状态时满足所述CCD图像传感器的感光要求；

(六)根据所述数据处理系统输出的焦斑图像数据对所述监测光学系统进行精确调整，以使所述监测光路的焦斑精确聚焦，此时所述监测光路的结构与楔形分束镜之后的打靶光路在结构上达到完全相同；

(七)以外形尺寸与所述第一衰减片完全相同的第二衰减片代替所述第一衰减片，并将所述第二衰减片置于所述第一衰减片原来的位置，所述第二衰减片的透过率应在待监测激光系统处于放大状态时满足所述CCD图像传感器的感光要求；

(八)在待监测激光系统正常工作状态下进行在线监测，由所述数据处理系统直接获取焦斑均匀性在线监测数据。

2.如权利要求1所述的强激光焦斑均匀性在线监测方法，其特征在于：步骤(五)中，若直接移除所述第一衰减片，所述CCD图像传感器仍可正常感光而不发生损坏，则以外形尺寸与所述第一衰减片完全相同的白片代替所述第一衰减片，并将所述白片置于所述第一衰减片原来的位置。

3.如权利要求1所述的强激光焦斑均匀性在线监测方法，其特征在于：所述楔形分束镜双面镀有增透膜。

4.如权利要求1-3任一项所述的强激光焦斑均匀性在线监测方法，其特征在于：所述楔形分束镜的材质为熔石英。