[发明专利]对位平台的误差补偿方法

权利要求书

1.一种对位平台的误差补偿方法，其特征在于，包括测试步骤和补偿步骤；

所述测试步骤，包括如下步骤：

平台在第一方向移动时，多次测量行程为m1、行程为n1和行程为m1与n1之间的数值时的实测误差；

计算在行程为m1、行程为n1和行程为m1与n1之间的数值时的实测误差的平均值ΔX；计算在行程为m1时的实测误差的平均值ΔXn；计算在行程为n1时的实测误差的平均值ΔXm；

平台在第二方向移动时，多次测量行程为m2、行程为n2和行程为m2与n2之间的数值时的实测误差；以及

计算在行程为m2、行程为n2和行程为m2与n2之间的数值时的实测误差的平均值ΔY；计算在行程为m2时的实测误差的平均值ΔYn；计算在行程为n2时的实测误差的平均值ΔYm；

所述补偿步骤，包括如下步骤：

将平台的移动分解为沿所述第一方向的移动和沿所述第二方向的移动；

若平台沿所述第一方向的正向移动预设行程X1，则补偿行程x1’，其中x1’＝(ΔXm-ΔXn)/(n1-m1)*X1；

若平台沿所述第一方向的反向移动预设行程X2，则补偿行程x2’，其中x2’＝(ΔXm-ΔXn)/(n1-m1)*X2+ΔX；

若平台沿所述第二方向的正向移动预设行程Y1，则补偿行程y1’，其中y1’＝(ΔYm-ΔYn)/(n1-m1)*Y1；

若平台沿所述第二方向的反向移动预设行程Y2，则补偿行程y2’，其中y2’＝(ΔYm-ΔYn)/(n1-m1)*Y2+ΔY。

2.根据权利要求1所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，所述行程为m1与n1之间的数值的数量为一个或多个；所述行程为m2与n2之间的数值的数量为一个或多个。

3.根据权利要求1所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，所述行程为m1与n1之间的数值为(n1+m1)/2；所述行程为m2与n2之间的数值为(n2+m2)/2。

4.根据权利要求1所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，在所述平台在第一方向移动时，多次测量行程为m1、行程为n1和行程为m1与n1之间的数值时的实测误差的步骤中，通过图像控制器测量实测误差。

5.根据权利要求1所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，在所述平台在第二方向移动时，多次测量行程为m2、行程为n2和行程为m2与n2之间的数值时的实测误差的步骤中，通过图像控制器测量实测误差。

6.根据权利要求1所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，带动平台移动的部件为沿所述第一方向设置的螺杆和沿所述第二方向设置的螺杆。

7.根据权利要求6所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，若平台第一方向的螺杆导程为2a，则m1为0.5a，n1为1.5a，m1与n1之间的数值为a；a为正数。

8.根据权利要求6所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，若平台第二方向的螺杆导程为2b，则m2为0.5b，n2为1.5b，m2与n2之间的数值为b；b为正数。

9.根据权利要求1所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，在所述测试步骤中，每个行程的实测误差的测量次数为10至30次。

10.根据权利要求1至9任一项所述的对位平台的误差补偿方法，其特征在于，若平台转动，则将平台的转动分解为两个沿所述第一方向的移动和一个沿所述第二方向的移动，分别补偿行程。