[发明专利]宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅在审
| 申请号： | 201710000720.1 | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN106772734A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 晋云霞;陈俊明;邵建达;孔钒宇;黄昊鹏;陈鹏;王磊磊;李林欣;徐姣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 宽带 衍射 效率 对称 形貌 反射 光栅 | ||
1.一种宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特征在于由上至下由顶部的周期性的光栅脊结构(3)、中间的高反射率薄膜层(7)和底部的基底构成；所述的顶部光栅脊结构为非对称形貌；所述的非对称形貌为四边形的两底角α和β不相等。
2.如权利要求1所述的宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特征在于：所述的顶部光栅脊结构为低折射率材料或高折射率介质材料或高低折射率材料的组合；所述的低折射率材料包含但不限于SiO2或者包含SiO2在内的材料；所述的高折射率材料包含但不限于HfO2或Ta2O5或Al2O3或ScO2或上述氧化物的复合物。
3.如权利要求1所述的宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特征在于：所述的中间高反射率薄膜层为多层高折射率对比度全介质薄膜层或金属介质高反膜层；所述的多层高折射率对比度全介质薄膜层由多层H和L薄膜和一层R薄膜构成，所述的H为一定物理厚度的高折射率材料膜层(6)，L为一定物理厚度的低折射率材料膜层(5)，R为一定物理厚度的剩余介质层(4)；所述的金属介质高反膜层由一定物理厚度的剩余介质层(4)和一定物理厚度的金属层(8)构成。
4.如权利要求1所述的宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特征在于：所述的光栅脊的周期Λ为500～2000纳米，对应线密度为2000～500线每毫米，所述的光栅脊的物理厚度为100～1000纳米，光栅脊底部占宽比f为0.4～0.9，光栅脊底角α和β为50°～90°。
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