[发明专利]对基板作业系统

权利要求书

1.一种对基板作业系统，其特征在于，具备：

多个对基板作业装置，经由网络而相互连接，并对基板进行作业；

管理装置，经由所述网络而分别与所述多个对基板作业装置连接，并管理所述多个对基板作业装置；

第一确认处理部，设置于所述多个对基板作业装置及所述管理装置中的至少一个装置，并根据所述网络中的通信异常的产生来确认将所述多个对基板作业装置及所述管理装置中的至少两个装置连接的通信路径中的通信异常的原因；及

通知部，通知所述网络中产生了通信异常及所述第一确认处理部的确认结果，

所述第一确认处理部通过在所述多个对基板作业装置及所述管理装置中的至少两个装置之间进行确认用的通信，来确认所述通信路径中的通信异常的原因，

所述管理装置执行用于管理所述多个对基板作业装置的管理程序，

所述第一确认处理部设置于所述多个对基板作业装置中的至少一个对基板作业装置，根据与所述管理装置之间的所述通信路径中的通信异常的产生，向所述管理装置发送确认所述管理程序是否被正确执行的第二确认用数据，根据所述管理装置的响应来确认与所述管理装置之间的所述通信路径中的通信异常的原因。

2.根据权利要求1所述的对基板作业系统，其中，

所述对基板作业系统还具备在经由所述网络分别向所述多个对基板作业装置发送数据时为了确定发送目的地所需要的网络结构信息，

所述第一确认处理部设置于所述多个对基板作业装置中的至少一个对基板作业装置，根据所述网络中的通信异常的产生，基于所述网络结构信息向其他对基板作业装置及所述管理装置中的至少一个装置发送第一确认用数据，根据对所述第一确认用数据的响应来确认所述通信路径中的通信异常的原因。

3.根据权利要求1所述的对基板作业系统，其中，

所述第一确认处理部设置于所述多个对基板作业装置中的至少一个对基板作业装置，根据所述网络中的通信异常的产生来确认与所述管理装置之间的所述通信路径中的通信异常的原因，在确认出没有异常的情况下，中止在此之后的通信异常的确认处理。

4.根据权利要求2所述的对基板作业系统，其中，

所述第一确认处理部设置于所述多个对基板作业装置中的至少一个对基板作业装置，根据所述网络中的通信异常的产生来确认与所述管理装置之间的所述通信路径中的通信异常的原因，在确认出没有异常的情况下，中止在此之后的通信异常的确认处理。

5.一种对基板作业系统，其特征在于，具备：

多个对基板作业装置，经由网络而相互连接，并对基板进行作业；

管理装置，经由所述网络而分别与所述多个对基板作业装置连接，并管理所述多个对基板作业装置；

第一确认处理部，设置于所述多个对基板作业装置及所述管理装置中的至少一个装置，并根据所述网络中的通信异常的产生来确认将所述多个对基板作业装置及所述管理装置中的至少两个装置连接的通信路径中的通信异常的原因；及

通知部，通知所述网络中产生了通信异常及所述第一确认处理部的确认结果，

所述第一确认处理部通过在所述多个对基板作业装置及所述管理装置中的至少两个装置之间进行确认用的通信，来确认所述通信路径中的通信异常的原因，

所述第一确认处理部设置于所述管理装置，每隔预定时间向与所述网络连接的所有装置发送第三确认用数据，保存所述网络的正常通信状态下的对所述第三确认用数据的响应的结果，所述第一确认处理部根据所述网络中的通信异常的产生，向与所述网络连接的所有装置再次发送所述第三确认用数据，对正常时和异常时的对所述第三确认用数据的响应的结果进行比较来确认所述通信路径中的通信异常的原因。