[发明专利]热传导率测定装置、热传导率测定方法及真空度评估装置

权利要求书

1.一种热传导率测定装置，其中，包括：

热产生源，配置为与热传导率的测定对象物接触；

热阻材料，配置为与所述热产生源接触；

至少1对示差热电偶，测定通过从所述热产生源流出热而产生的所述热阻材料的两点间的温度差所引起的电压值；以及

计算装置，计算所述示差热电偶的输出电压的时间变化率，基于所计算出的所述时间变化率来计算所述测定对象物的热传导率。

2.如权利要求1所述的热传导率测定装置，其中，

所述计算装置使用式(1)来计算所述测定对象物的热传导率，

Y＝aX^-b…(1)，

其中，在式(1)中，X是所述测定对象物的热传导率，Y是所述示差热电偶的输出电压的时间变化率，a、b是常数。

3.如权利要求2所述的热传导率测定装置，其中，

所述式(1)中的常数a、b是通过将使用2种以上的热传导率已知的材料进行测定而得到的结果代入式(1)，从而求出的值。

4.如权利要求1所述的热传导率测定装置，其中，

所述计算装置预先使用2种以上的热传导率已知的材料进行测定，使用根据各材料的热传导率、与在针对各材料进行测定时的所述示差热电偶的输出电压的时间变化率的关系而求出的直线的表达式，计算所述测定对象物的热传导率。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的热传导率测定装置，其中，

所述热传导率测定装置具有2个以上的所述示差热电偶，各个示差热电偶分别测定由不同的两点间的温度差引起的电压值，各个示差热电偶被串联连接，

所述计算装置计算被串联连接的多个示差热电偶的输出的时间变化率，基于所计算出的时间变化率来计算所述测定对象物的热传导率。

6.如权利要求1～4中的任一项所述的热传导率测定装置，其中，

在所述热产生源的与所述测定对象物接触的表面，具有吸收所述测定对象物的凹凸形状的缓冲材料。

7.如权利要求1～4中的任一项所述的热传导率测定装置，其中，

所述热传导率测定装置具有用于测定因来自所述热产生源的横向的热流而在所述热阻材料内部产生的温度差的机构，

所述计算装置使用所测定出的横向的温度差来修正所述测定对象物的热传导率。

8.一种热传导率测定方法，其中，

控制装置使从被配置为与热传导率的测定对象物以及热阻材料接触的热产生源产生热，

计算装置获取由示差热电偶测定出的、由所述热阻材料的两点间的温度差引起的电压值，

所述计算装置计算所述示差热电偶的输出电压的时间变化率，

所述计算装置基于所计算出的所述时间变化率，计算所述测定对象物的热传导率。

9.如权利要求8所述的热传导率测定方法，其中，

所述计算装置使用式(1)来计算所述测定对象物的热传导率，

Y＝aX^-b…(1)，

其中，在式(1)中，X是所述测定对象物的热传导率，Y是所述示差热电偶的输出电压的时间变化率，a、b是常数。

10.如权利要求9所述的热传导率测定方法，其中，

所述式(1)中的常数a、b是通过将使用2种以上的热传导率已知的材料进行测定而得到的结果代入式(1)，从而求出的值。

11.如权利要求8所述的热传导率测定方法，其中，

所述计算装置预先使用2种以上的热传导率已知的材料进行测定，使用根据各材料的热传导率、与在针对各材料进行测定时的所述示差热电偶的输出电压的时间变化率的关系而求出的直线的表达式，计算所述测定对象物的热传导率。

12.一种真空度评估装置，其中，包括：

热产生源，配置为与真空度的测定对象物接触；

热阻材料，配置为与所述热产生源接触；

至少1对示差热电偶，测定通过从所述热产生源流出热而产生的所述热阻材料的两点间的温度差所引起的电压值；

计算装置，计算所述示差热电偶的输出电压的时间变化率，基于所计算出的所述时间变化率来计算所述测定对象物的热传导率；以及

真空度评估部，基于所计算出的所述热传导率来评估所述测定对象物的真空度。