[发明专利]透明电极及其制备方法、显示面板、太阳能电池有效
| 申请号: | 201680087299.6 | 申请日: | 2016-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN109417108B | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
| 发明(设计)人: | 秦旭东;张波;张臣雄 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 张耀光 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 透明 电极 及其 制备 方法 显示 面板 太阳能电池 | ||
1.一种透明电极,其特征在于,包括:
衬底;
设置在所述衬底上的石墨烯导电层和由透明材料形成的场效应控制层;
以及,
设置在所述石墨烯导电层和所述场效应控制层之间的电介质层;
所述场效应控制层在工作状态下带有极性电荷;
所述电介质层为透明且绝缘的材料。
2.根据权利要求1所述的透明电极,其特征在于,所述场效应控制层在工作状态下带有极性正电荷。
3.根据权利要求1所述的透明电极,其特征在于,所述场效应控制层的材料为透明导电材料,所述透明电极还包括:与所述石墨烯导电层欧姆接触的第一金属电极,以及与所述场效应控制层欧姆接触的第二金属电极;
所述第一金属电极用于连接外接电压源的一个电极,所述第二金属电极用于连接所述外接电压源的另一个电极。
4.根据权利要求3所述的透明电极,其特征在于,所述第一金属电极用于连接外接电压源的负极,所述第二金属电极用于连接所述外接电压源的正极。
5.根据权利要求3所述的透明电极,其特征在于,所述透明导电材料为石墨烯、氧化铟锡、氧化锌、金属纳米线或者导电有机高分子。
6.根据权利要求3所述的透明电极,其特征在于,所述第一金属电极和所述第二金属电极的材料均选自金、钛、镍、铜、铬、铝、铂、钯、以及钨中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的透明电极,其特征在于,所述场效应控制层的材料为透明且具有极性电荷的材料。
8.根据权利要求7所述的透明电极,其特征在于,所述透明且具有极性电荷的材料为掺杂石墨烯。
9.根据权利要求8所述的透明电极,其特征在于,所述掺杂石墨烯中杂质浓度为1010/cm2以上。
10.根据权利要求9所 述的透明电极,其特征在于,所述掺杂石墨烯中杂质浓度为1012/cm2~1014/cm2。
11.根据权利要求1~10任一项所述的透明电极,其特征在于,所述透明电极还包括分别设置在所述石墨烯导电层远离所述电介质层一侧和所述场效应控制层远离所述电介质层一侧的保护层。
12.根据权利要求11所述的透明电极,其特征在于,所述电介质层和所述保护层材料均为氮化硼。
13.根据权利要求12所述的透明电极,其特征在于,所述电介质层和所述保护层的厚度为20纳米以下。
14.根据权利要求1~10、12-13任一项所述的透明电极,其特征在于,所述石墨烯导电层的厚度为10纳米以下。
15.根据权利要求1~10、12-13任一项所述的透明电极,其特征在于,所述衬底的材料选自玻璃、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯或聚氨酯。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





