[发明专利]扫描型探针显微镜用数据处理装置

权利要求书

1.一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其特征在于，

所述扫描型探针显微镜用数据处理装置对表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，该两轴数据是通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的，

所述扫描型探针显微镜用数据处理装置具备：

a)特征量算出部，其根据所述多个测定点中的各方的所述两轴数据来求出1种至多种特征量；

b)特征量选择部，其让使用者选择所述1种至多种特征量中的1种；

c)二维映射图像显示部，其根据所述使用者对所述特征量的选择，将所述多个测定点中的各方的特征量画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及

d)两轴数据显示部，当所述二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的所述两轴数据进行画面显示。

2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜用数据处理装置，其特征在于，

具备e)放大显示部，当进行所述画面显示的两轴数据中的1个至多个被使用者选择时，所述放大显示部将该被选择的两轴数据放大来进行画面显示。

3.根据权利要求2所述的扫描型探针显微镜用数据处理装置，其特征在于，

在使用者选择了多个两轴数据的情况下，所述放大显示部显示与该多个两轴数据中的各方相对应的、所述二维映射图像上的位置。

4.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜用数据处理装置，其特征在于，

具备f)二维数据显示部，在使用者在所述二维映射图像中选择了2个像素的情况下，所述二维数据显示部制作以下数据并进行画面显示：该数据在以连结该2个像素的线段上的位置为1轴、以所述第1物理量的值为另1轴的二维区域能够识别地表示所述第2物理量的值。