[发明专利]可调式带电粒子涡旋束发生器及方法

权利要求书

1.一种带电粒子涡旋束发生器，所述带电粒子涡旋束发生器包括用于提供带电粒子束(1)的一个或多个组件(7)，其特征在于，在操作期间对所述带电粒子束(1)给予轨道角动量的电布置；

其中所述电布置包括用于提供在第一方向上流动的第一电流和在相反的第二方向上流动的第二电流的至少一个电导体，其中所述第一方向与所述第二方向是反向平行的；

其中用于所述第一电流的所述电导体或电导体的用于第一电流的部段(4)与所述带电粒子束路径成锐角(α)，并且其中用于所述第二电流的所述电导体或电导体的用于第二电流的部段(5)与所述带电粒子束路径成锐角(α)；

其中用于所述第一电流的所述电导体或电导体的用于所述第一电流的部段(4)和用于所述第二电流的所述电导体或电导体的用于所述第二电流的部段(5)都一直延伸到所述带电粒子束(1)的中心、或者在所述带电粒子束(1)的中心或至少在所述带电粒子束(1)的中心附近延伸。

2.根据权利要求1所述的发生器，其中用于所述第一电流的第一电导体或电导体的用于所述第一电流的部段(4)布置在所述带电粒子束(1)的中心的一侧，并且第二电导体或电导体的用于所述第二电流的部段(5)布置在所述带电粒子束(1)的中心的相对侧。

3.根据权利要求1所述的发生器，其中在操作期间，在所述第一方向上流动的第一电流沿着直线流动，并且在所述第二方向上流动的第二电流也沿着直线流动。

4.根据权利要求1所述的发生器，包括唯一一个单个电导体(4、5和6)，所述单个电导体(4、5和6)在操作期间提供对所述带电粒子束(1)给予轨道角动量的电流。

5.根据权利要求4所述的发生器，其中所述单个电导体(4、5和6)是U形的。

6.根据权利要求4或5所述的发生器，其中所述单个电导体(4、5和6)包括在带电粒子束(1)的中心的一侧的第一电流的部段(4)和在所述带电粒子束(1)的中心的另一侧的第二电流的部段(5)，所述第一电流的部段(4)和所述第二电流的部段(5)中的每个都与所述带电粒子束路径成小于90度的角度(α)。

7.根据权利要求1所述的发生器，其中锐角(α)小于80°，和/或其中所述锐角(α)大于20°，并且其中，所述锐角(α)形成在所述第一电流的部段(4)或所述第二电流的部段(5)、和所述带电粒子束(1)之间。

8.根据权利要求1所述的发生器，其中锐角(α)小于80°，和/或其中所述锐角(α)大于30°，并且其中，所述锐角(α)形成在所述第一电流的部段(4)或所述第二电流的部段(5)、和所述带电粒子束(1)之间。

9.根据权利要求1所述的发生器，其中锐角(α)小于60°，和/或其中所述锐角(α)大于20°，并且其中，所述锐角(α)形成在所述第一电流的部段(4)或所述第二电流的部段(5)、和所述带电粒子束(1)之间。

10.根据权利要求1所述的发生器，其中锐角(α)小于60°，和/或其中所述锐角(α)大于30°，并且其中，所述锐角(α)形成在所述第一电流的部段(4)或所述第二电流的部段(5)、和所述带电粒子束(1)之间。

11.根据权利要求1所述的发生器，其中所述电布置包括基板(14)和/或膜(15)以及设置在基板(14)和/或膜(15)上的至少一个电导体，其中所述带电粒子束(1)在操作期间在所述第一电流的部段(4)和所述第二电流的部段(5)附近流动，并且其中所述表面在操作期间倾斜成与所述带电粒子束(1)成锐角。

12.根据权利要求11所述的发生器，其中所述基板(14)由Si形成，和/或所述膜(15)由SiN形成。