[发明专利]用于对准太阳能电池元件的设备、在太阳能电池的制造中使用的系统,及用于对准太阳能电池元件的方法有效
申请号: | 201680085161.2 | 申请日: | 2016-05-06 |
公开(公告)号: | CN109075220B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·吉斯隆;恩里科·博斯科洛·马尔基;罗伯托·波斯切拉托 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 对准 太阳能电池 元件 设备 制造 使用 系统 方法 | ||
1.一种用于对准太阳能电池元件的设备,包括:
夹持器,所述夹持器经构造以将所述太阳能电池元件从传输装置上的第一位置移动到支撑装置上的第二位置;
检测装置,所述检测装置经构造以检测所述太阳能电池元件在所述传输装置上的第一定向,并经构造以检测由所述夹持器保持的所述太阳能电池元件的第二定向;及
控制器,所述控制器经构造以基于所述第一定向及所述第二定向来改变由所述夹持器保持的所述太阳能电池元件的定向,以对准所述太阳能电池元件。
2.根据权利要求1所述的设备,其中所述控制器经构造以在从所述传输装置拾起所述太阳能电池元件之前,基于所述太阳能电池元件在所述传输装置上的所述第一定向来改变所述夹持器的定向。
3.根据权利要求2所述的设备,其中所述检测装置经构造以检测所述太阳能电池元件的一个或多个边缘或角落和在所述太阳能电池元件上的印刷特征中的至少其中一者,以检测所述第一定向和所述第二定向中的至少一者。
4.根据权利要求1所述的设备,其中所述检测装置经构造以检测所述太阳能电池元件的一个或多个边缘或角落和在所述太阳能电池元件上的印刷特征中的至少其中一者,以检测所述第一定向和所述第二定向中的至少一者。
5.根据权利要求3项所述的设备,其中所述检测装置包括一个或多个相机及一个或多个光源装置的至少其中一者。
6.根据权利要求5所述的设备,其中所述一个或多个光源装置包括一个或多个光源,所述一个或多个光源布置在所述一个或多个相机的直接视线中,其中所述一个或多个光源是选自由以下项组成的群组:灯具、光带(light tapes)、闪光灯、光条(light bars)及上述项的任何组合。
7.根据权利要求5所述的设备,其中所述一个或多个光源装置包括一个或多个光源及一个或多个光扩散装置,其中所述一个或多个光扩散装置布置在所述一个或多个相机的直接视线中,且其中所述一个或多个光源经构造以将光引导至所述一个或多个光扩散装置。
8.根据权利要求7所述的设备,其中所述检测装置经构造以检测所述太阳能电池元件在所述支撑装置上的第三定向,且其中所述控制器经构造以用于闭环控制,以在将后续的太阳能电池元件从所述传输装置移动到所述支撑装置时,至少基于所述太阳能电池元件的所述第三定向来控制所述夹持器的移动。
9.根据权利要求1所述的设备,其中所述检测装置经构造以检测所述太阳能电池元件在所述支撑装置上的第三定向,且其中所述控制器经构造以用于闭环控制,以在将后续的太阳能电池元件从所述传输装置移动到所述支撑装置时,至少基于所述太阳能电池元件的所述第三定向来控制所述夹持器的移动。
10.根据权利要求8所述的设备,其中至少一个所述夹持器经构造以从所述传输装置拾起所述太阳能电池元件,以将所述太阳能电池元件从所述第一位置移动到所述第二位置,并且所述夹持器选自由以下项组成的群组:机械夹持器、气动夹持器、静电夹持器、电动夹持器、真空夹持器,及上述项的任何组合。
11.根据权利要求1所述的设备,其中至少一个所述夹持器经构造以从所述传输装置拾起所述太阳能电池元件,以将所述太阳能电池元件从所述第一位置移动到所述第二位置,并且所述夹持器选自由以下项组成的群组:机械夹持器、气动夹持器、静电夹持器、电动夹持器、真空夹持器,及上述项的任何组合。
12.一种用于制造太阳能电池的系统,包括:
根据权利要求1至11的任一项所述的设备;
经构造以提供所述第一位置的所述传输装置;及
经构造以提供所述第二位置的所述支撑装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的