[发明专利]带电粒子显微镜以及试样拍摄方法

权利要求书

1.一种带电粒子显微镜，其中，该带电粒子显微镜具有：

带电粒子光学镜筒，其使带电粒子束聚焦并照射到试样；

隔壁，其使载置所述试样的非真空空间与所述带电粒子光学镜筒内部的真空空间分离；

上部电极；

下部电极，其载置所述试样；

电源，其对所述上部电极和所述下部电极中的至少任一方施加电压；

试样间隙调整机构，其调整所述试样与所述隔壁的间隔即试样间隙；以及

图像形成部，其基于在所述下部电极吸收到的电流来形成所述试样的图像，所述带电粒子显微镜根据耀斑量求出所述试样间隙。

2.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜，其中，

所述隔壁是所述带电粒子束能够透过的薄膜或者所述带电粒子束通过的隔板。

3.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜，其中，

基于存在于载置所述试样的非真空空间的气体中的、所述带电粒子束的平均自由行程，来调整所述试样与所述隔壁的间隔。

4.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜，

所述试样与所述隔壁的间隔被调整为存在于载置所述试样的非真空空间的气体中的、从所述试样放射的反射电子的平均自由行程的3倍以下。

5.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜，其中，

在所述隔壁的与所述试样相对的面配置绝缘部件或者绝缘膜。

6.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜，其中，

该带电粒子显微镜具有：漏电流测量部，其在不对所述试样照射所述带电粒子束且在所述上部电极与所述下部电极之间施加电场状态下，测量由所述下部电极吸收的漏电流，

所述图像形成部基于从对所述试样照射所述带电粒子束且在所述上部电极与所述下部电极之间施加电场状态下在所述下部电极吸收的电流减去所述漏电流而得到的电流值来形成所述图像。

7.根据权利要求6所述的带电粒子显微镜，其中，该带电粒子显微镜具有：

存储部，其存储所述试样与所述隔壁的间隔、与所述漏电流的大小之间的关系；以及

控制部，其基于所述漏电流的大小来求出所述试样与所述隔壁的间隔。

8.一种试样拍摄方法，其中，

在通过隔壁从带电粒子光学镜筒内部的真空空间分离出的非真空空间中配置的下部电极载置试样，

使聚焦后的带电粒子束向所述试样照射，

对上部电极和所述下部电极中的至少任一方施加电压，

调整所述试样与所述隔壁的间隔即试样间隙，

测定在所述下部电极吸收到的电流，

基于所述电流来形成所述试样的图像，

根据耀斑量求出所述试样间隙。

9.根据权利要求8所述的试样拍摄方法，其中，

基于存在于载置所述试样的非真空空间的气体中的、来自所述试样的放射电子的平均自由行程，来调整所述试样与所述隔壁的间隔。

10.根据权利要求8所述的试样拍摄方法，

将所述试样与所述隔壁的间隔调整为从所述试样放射的反射电子在所述非真空空间中的平均自由行程的3倍以下。

11.根据权利要求8所述的试样拍摄方法，其中，

在不对所述试样照射所述带电粒子束且在所述上部电极和所述下部电极之间施加电场状态下，测定在所述下部电极吸收的漏电流，

基于从对所述试样照射所述带电粒子束且在所述上部电极和所述下部电极之间施加电场状态下在所述下部电极吸收的电流减去所述漏电流而得到的电流值来形成所述图像。