[发明专利]在多部件透镜系统中制造空气间隙区域

说明书

实施例涉及多部件透镜系统(100)中的空气间隙区域(160)的制造。一种装置的实施例包括：第一透镜(115)，第一透镜(115)包括光致抗蚀剂材料(140)的图案；通过光致抗蚀剂材料(140)与第一透镜(115)粘合的第二透镜(125)；以及，第一透镜(115)和第二透镜(125)之间的空气间隙区域(160)。光致抗蚀剂图案(140)限定第一透镜(115)和第二透镜(125)之间的空气间隙区域(160)。

技术领域

本公开一般涉及光学部件，并且特别地但非排他地涉及在多部件透镜系统中的空气间隙区域的制造。

背景技术

在多部件透镜系统的光学部件之间制造空气间隙区域在许多光学应用中可能是重要的。空气间隙界面提供低折射率，其可用作用于在嵌入式光导光学器件中全内反射的包层。

然而，由于常规过程需要使用低折射率粘合剂，因此部件的这种集成的应用受到限制。这种粘合剂昂贵，需要复杂的过程，并且对于透镜过程具有困难的机械特性。

更具体地，透镜系统上的特定区域中的空气间隙的限定要求将粘合介质图案化并从空气间隙区域排除。因为以液体形式施加粘合剂，所以不容易在空间上控制，因此使透镜系统的制造过程复杂化。

附图说明

参考以下附图描述本发明的非限制性和非穷举性实施例，在附图中，除非另有说明，否则相同的附图标记在各个视图中指代相同的部分。附图不一定按比例绘制，重点放在说明所描述的原理上。

图1是根据一个实施例的透镜组件的图示；

图2A图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的初始过程；

图2B图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的光致抗蚀剂应用。

图2C图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的光的空间调制。

图2D图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的光刻。

图2E图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的光致抗蚀剂显影剂应用；

图2F图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的透镜粘合；

图3A图示出了根据一个实施例的用于制造透镜组件的前透镜；

图3B图示出了根据一个实施例的用于制造透镜组件的后透镜；

图3C图示出了根据一个实施例的光致抗蚀剂涂层在透镜组件的制造中的应用。

图3D图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中使用掩模元件的光的空间调制。

图3E图示出了根据一个实施例的用于透镜组件的包括剩余暴露的光致抗蚀剂的透镜；

图3F图示出了根据一个实施例的透镜组件的制造中的透镜粘合；

图4A和4B是根据一个实施例的具有利用光致抗蚀剂图案产生的空气间隙的透镜组件的图示；以及

图5是根据一个实施例的用于制造多部件透镜的过程的图示。

具体实施方式

用于在多部件透镜系统中制造空气间隙区域的装置、系统和过程的实施例。

在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对实施例的透彻理解。然而，相关领域的技术人员将认识到，可以在没有一个或多个具体细节的情况下或者利用其他方法、部件、材料等来实践本文描述的技术。在其他情况下，未详细示出或描述众所周知的结构、材料或者操作以避免模糊某些方面。