[发明专利]波长检测装置

权利要求书

1.一种波长检测装置，其使用至少一个标准具而检测从激光谐振器输出的紫外线激光的波长，

该波长检测装置具有：

第1壳体，其对容纳所述标准具的内部空间进行封闭；

输入窗口，其安装在形成于所述第1壳体的第1开口，将所述紫外线激光导入到所述第1壳体内；

第1密封部件，其对所述输入窗口的端缘部与所述第1开口的内周部之间的间隙进行密封；

遮光膜，其配置在所述输入窗口的端缘部与所述第1密封部件之间，对从所述输入窗口朝向所述第1密封部件的所述紫外线激光进行遮挡；及

扩散元件，其配置在所述第1壳体的外侧，在所述输入窗口的前级使所述紫外线激光扩散，

所述第1壳体为铝制的，对所述第1壳体的内壁面及外壁面的至少一部分实施了镀镍，并且

在所述第1壳体的所述内壁面设置有罩部件，该罩部件覆盖实施了所述镀镍的部分，且由铝或不锈钢形成，并在表面未实施所述镀镍。

2.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

所述遮光膜的材料为铝，在所述遮光膜的与所述第1密封部件抵接的面设置有保护膜。

3.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

所述扩散元件为对透过所述紫外线激光的平行平板的至少一面进行粗糙化而得到的扩散板。

4.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

所述输入窗口的材料为合成石英。

5.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

所述遮光膜为对紫外线的反射率比吸收率高的反射膜。

6.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

所述第1密封部件是由具备弹性的树脂形成的O形环。

7.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

该波长检测装置具有：

加热器，其配置在所述第1壳体的外周面，调节所述内部空间的温度；

温度传感器，其测定所述内部空间的温度；及

温度控制部，其根据由所述温度传感器测定的温度，控制所述加热器的驱动。

8.根据权利要求1所述的波长检测装置，其中，

作为所述标准具，该波长检测装置具备第1标准具及分辨率比所述第1标准具高的第2标准具。

9.根据权利要求8所述的波长检测装置，其具有：

第1图像传感器，其配置在所述第1壳体的外部，对透过了所述第1标准具的所述紫外线激光的第1透过光进行摄像；

第2图像传感器，其配置在所述第1壳体的外部，对透过了所述第2标准具的所述紫外线激光的第2透过光进行摄像；

第1输出窗口，其安装在形成于所述第1壳体的第2开口而将所述第1透过光输出到所述第1壳体的外部，且作为将所述第1透过光会聚到所述第1图像传感器的聚光透镜而进行工作；

第2输出窗口，其安装在形成于所述第1壳体的第3开口而将所述第2透过光输出到所述第1壳体的外部，且作为将所述第2透过光会聚到所述第2图像传感器的聚光透镜而进行工作；

第2密封部件，其对所述第1输出窗口的端缘部与所述第2开口的内周部之间的间隙进行密封；及

第3密封部件，其对所述第2输出窗口的端缘部与所述第3开口的内周部之间的间隙进行密封。