[发明专利]检查装置、检查方法以及非接触式传感器

权利要求书

1.一种检查装置，包括：

非接触式传感器，通过激励线圈、第一检测线圈以及第二检测线圈构成磁回路，所述第一检测线圈与所述第二检测线圈在磁回路上对称地构成，

第一输入部，被输入来自所述第一检测线圈的信号；

第二输入部，被输入来自所述第二检测线圈的信号；

差计算部，对来自所述第一输入部的第一信号与来自所述第二输入部的第二信号的差进行计算；

信号处理部，对通过所述差计算部计算出的差信号进行处理；

振荡部，生成对所述激励线圈的激励信号和对所述信号处理部的参照信号；以及

控制部，对所述第一输入部、所述第二输入部、所述差计算部、所述信号处理部以及所述振荡部进行控制，

所述控制部如下地控制：向所述激励线圈输入激励信号，并在预定的频率范围以预定的扫描间隔使频率阶段性地变化而振荡，

在每次扫描的频率中使用所述参照信号获取相对于所述激励信号的所述差信号，

通过傅里叶变换将每次所述扫描的所述差信号从时间轴变换为频率轴的信号，

将所述预定的频率范围的频率轴的信号表示在复平面上。

2.如权利要求1所述的检查装置，其中，

所述第一检测线圈与成为基准的材料磁耦合，通过成为所述基准的材料、所述第一检测线圈以及所述激励线圈构成第一磁回路，

所述第二检测线圈与测量对象物磁耦合，通过所述测量对象物、所述第二检测线圈以及所述激励线圈构成第二磁回路，

通过所述差计算部计算所述差，对在所述第一磁回路中流过的磁通和在所述第二磁回路中流过的磁通进行比较。

3.如权利要求1所述的检查装置，其中，

所述控制部进行控制，以通过基于所述差信号的所述预定的频率范围的频率轴的信号来判断测量对象物与成为基准的材料在物性上或尺寸上是否不同。

4.如权利要求1所述的检查装置，所述控制部在与外部之间进行数据的输入输出。

5.如权利要求1所述的检查装置，其中，

所述第一检测线圈和所述第二检测线圈相对于所述激励线圈正交地配置，所述第一检测线圈和所述第二检测线圈分别通过一个线圈或串联连接的多个线圈构成。

6.如权利要求1所述的检查装置，其中，

所述第一检测线圈和所述第二检测线圈相对于所述激励线圈在同一轴上配置。

7.如权利要求1所述的检查装置，包括：

第一放大部，被连接在所述第一输入部与所述差计算部之间；

第二放大部，被连接在所述第二输入部与所述差计算部之间；以及

第三放大部，被连接在所述差计算部与所述信号处理部之间。

8.如权利要求1所述的检查装置，包括：

第四放大部，被连接在所述激励线圈与所述振荡部之间。

9.如权利要求2所述的检查装置，包括：

终端装置，与所述信号处理部连接，

所述终端装置去除保存在所述信号处理部中的所述测量对象物的数据，并将所述测量对象物的频率特性表示在复平面上。