[发明专利]通过激光照射金属草酸盐层制造部件或支撑微结构的方法

权利要求书

1.一种制造金属、陶瓷或金属陶瓷复合部件或支撑的金属、陶瓷或金属陶瓷复合微结构的方法，其特征在于，所述方法至少包括以下步骤：

i)将至少一种金属草酸盐或其与所述金属草酸盐的部分分解产生的一种或多种化合物的混合物的悬浮液或粉末沉积在固体基材的至少一部分表面上，以形成所述金属草酸盐的层，或所述金属草酸盐与所述一种或多种化合物的混合物的层，

应当理解的是：

*所述金属草酸盐对应于下式(I)：

M₂(C₂O₄)_v·nH₂O (I)

其中：

-M为氧化态为+v的金属阳离子或平均氧化态为+v的金属阳离子的混合物，

-v为1≤v≤4的整数，

-n为使得n≥0，并且

*所述悬浮液或粉末的金属草酸盐为颗粒和/或颗粒附聚物的形式，其中该颗粒和/或颗粒附聚物的平均尺寸为约10nm至100μm，

ii)使用在波长范围为150nm至2000nm下工作的激光束，在足以将局部加热区域的层不可逆地转化成呈现对应于加热区域图案的金属、陶瓷或金属陶瓷复合层的功率密度下，对步骤i)的层的至少一个区域进行局部加热，

iii)任选地移除所述层的未加热区域，以及

iv)任选地依次重复步骤i)至ii)或i)至iii)一次或多次，以在所述固体基材的自由表面的至少一部分上和/或在前述金属、陶瓷或金属陶瓷复合层的至少一部分上形成一个或多个新的金属、陶瓷或金属陶瓷复合层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述式(I)的金属草酸盐的金属阳离子M选自Ag⁺、Li⁺、Cu²⁺、Fe²⁺、Ni²⁺、Mn²⁺、Co²⁺、Zn²⁺、Mg²⁺、Sr²⁺、Ba²⁺、Sn²⁺、Ca²⁺、Cd²⁺、Fe³⁺、Cr³⁺、Bi³⁺、Ce³⁺、Al³⁺、Sb³⁺、Ga³⁺、In³⁺、Y³⁺、La³⁺、Am³⁺、Zr⁴⁺、Hf⁴⁺以及U⁴⁺。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述固体基材由玻璃、金属、玻璃陶瓷、陶瓷、塑料或者对步骤ii)中由激光束引起的加热具有抵抗性和/或惰性的任何材料制成。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤i)中形成的层的厚度为1μm至700μm。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤i)中形成的层仅包含所述式(I)的金属草酸盐，其中所述金属草酸盐任选地与源自所述式(I)的金属草酸盐的部分分解的一种或多种化合物混合。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，相对于所述悬浮液的总质量，该悬浮液包含20重量％至80重量％的至少一种式(I)的草酸金属盐。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述悬浮液的粘度为30cP至300cP，所述粘度是在25℃下使用旋转粘度计测量的。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述悬浮液为式(I)的金属草酸盐或其与所述金属草酸盐的部分分解产生的一种或多种化合物的混合物在溶剂中的悬浮液，所述溶剂选自多元醇、单醇、四氢呋喃、十二烷以及水，如果上述溶剂是可混溶的，还选自至少两种上述溶剂的混合物。