[发明专利]光刻设备、用于卸载衬底的方法和用于装载衬底的方法

权利要求书

1.一种用于将衬底装载到被配置为支撑所述衬底的支撑台上的方法，所述方法包括：

基于每个流动通道的感测压力，控制经由所述支撑台的中央区域、中间区域和外部区域中的每个区域中的气流开口从所述支撑台的基面与所述衬底之间的间隙中抽取气体的定时，所述流动通道与该区域中的气流开口流体连通，

其中基于每个流动通道的所述感测压力来确定针对每个区域的抽吸流量，并且基于针对每个区域的所述抽吸流量来确定从所述中央区域或从所述外部区域开始抽取气体的顺序，

其中在第一装载阶段期间，所述气体通过所述支撑台的所述中央区域中的至少一个气流开口而不是通过所述支撑台的在所述中央区域的径向向外的所述中间区域中的任何气流开口和所述支撑台的在所述中间区域的径向向外的所述外部区域中的任何气流开口来被抽取，

在第二装载阶段期间，所述气体通过所述中央区域中的至少一个气流开口和所述中间区域中的至少一个气流开口而不是通过所述外部区域中的任何气流开口来被抽取，以及

在第三装载阶段期间，所述气体通过所述中央区域中的至少一个气流开口、所述中间区域中的至少一个气流开口和所述外部区域中的至少一个气流开口来被抽取。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

在所述第一装载阶段期间，大于环境压力的压力下的气体通过所述中间区域中的至少一个气流开口和/或所述外部区域中的至少一个气流开口来被供应。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

在所述第二装载阶段期间，通过所述外部区域中的至少一个气流开口以大于环境压力的压力来供应气体。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：

当所述衬底正朝向所述支撑台降低时，所述气体通过所述中央区域中的至少一个气流开口、所述中间区域中的至少一个气流开口和所述外部区域中的至少一个气流开口来被抽取；

当所述衬底到达所述支撑台上方预定距离时，所述气体不通过所述中央区域中的任何气流开口、所述中间区域中的任何气流开口和所述外部区域中的任何气流开口来被抽取；以及

当所述衬底已向下接触到所述支撑台上时，执行所述第一装载阶段、所述第二装载阶段和所述第三装载阶段。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，包括：

限制所述中央区域与所述中间区域之间的气体的流动，使得能够基本上独立地从针对所述中央区域和所述中间区域中的每个区域的间隙中抽取气体或者向所述间隙供应气体。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述中间区域围绕所述中央区域。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述中间区域在其径向外周处由中间区域壁限定，所述中间区域壁突出至所述基面上方并且限制所述中间区域与所述外部区域之间的气体的流动。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述中间区域包括多个非交叠中间子区域，在所述多个非交叠中间子区域之间气体的流动被限制。

9.根据权利要求8所述的方法，其中每个中间子区域由中间子区域壁限定，所述中间子区域壁突出至所述基面上方并且限制所述中间区域与所述中央区域或所述外部区域之间的气体的流动。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述中间子区域彼此间隔开。

11.根据权利要求8所述的方法，其中能够基本上彼此独立地从针对所述中间子区域中的每个中间子区域的间隙中抽取气体或者向所述间隙供应气体。

12.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，包括：

限制所述中间区域与所述外部区域之间的气体的流动，使得能够基本上独立地从针对所述中间区域和所述外部区域中的每个区域的间隙中抽取气体或者向所述间隙供应气体。