[发明专利]低温光纤传感器设备

权利要求书

1.一种光纤传感器设备，包括光纤，所述光纤传感器设备包括：

在所述光纤上、至少在所述光纤的光纤截面内的多层涂层，所述多层涂层包括位于所述光纤上的粘结层、位于所述粘结层上的金属层以及位于所述金属层上的铟层或铅层，所述铟层或铅层具有比所述粘结层和所述金属层的厚度大的厚度。

2.根据权利要求1所述的光纤传感器设备，其中所述铟层或铅层具有所述光纤半径的至少四分之一、更优选为一半的厚度。

3.根据前述权利要求中任一项所述的光纤传感器设备，其中所述金属层为铜层、银层、金层、铂层或钯层。

4.根据权利要求3所述的光纤传感器设备，其中所述金属层具有在10纳米至500纳米范围内的厚度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的光纤传感器设备，其中所述粘结层为铬层。

6.根据权利要求5所述的光纤传感器设备，其中所述铬层具有在1纳米至10纳米范围内的厚度。

7.根据前述权利要求中任一项所述的光纤传感器设备，其中所述光纤截面包括光纤布拉格光栅。

8.根据前述权利要求中任一项所述的光纤传感器设备，包括干涉仪，其中所述光纤截面为所述干涉仪的一部分。

9.根据前述权利要求中任一项所述的光纤传感器设备，其中所述光纤为石英光纤。

10.一种光纤传感器系统，包括根据权利要求1至9中任一项所述的光纤传感器以及被配置为测量所述光纤截面的光程变化的解调系统。

11.一种用于将容器的内部冷却到低温温度的低温系统，所述低温系统包括根据权利要求10所述的光纤传感器系统以及所述容器，所述光纤截面位于所述容器的内部。

12.一种制造光纤传感器设备的方法，所述方法包括：

在光纤上气相沉积铬层，所述光纤包括包含光纤布拉格光栅的光纤截面，

在所述铬层上气相沉积铜层；

用铟层对所述铜层进行电镀，所述铟层具有比所述铬层和所述铜层的厚度大的厚度。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述铟层被电镀为所述光纤的半径的至少四分之一、更优选为至少一半的厚度。