[发明专利]气体管理系统和控制器

说明书

实施例涉及气体供应系统、气体面板监控系统以及通过高可用性计算集群控制的气体分配平台。在一种情况下，提供了一种气体供应系统，其包括限定了包括气体分配歧管的外壳。使用螺线管来调节通过气体分配歧管的气流。气体供应系统还包括电连接到螺线管的冗余控制系统。冗余控制系统被配置为向螺线管发送驱动信号，以允许或阻止气体流过气体分配歧管。气体供应系统还包括通信模块，该通信模块允许冗余控制系统监控多个气体面板。该监控包括接收来自气柜组件的关于组件操作状态的反馈，并且还将驱动信号从冗余控制系统传输到气体面板。

背景技术

气体和液体供应系统长期以来一直用于制造业。半导体制造组件、太阳能电池板制造设施和其他类型的工业生产机器和设施在高科技产品的生产中使用受控量的气体和液体。然而，供应气体和其他液体的气体供应机器通常是针对一种类型的工具定制的，并且不与其他工具一起使用。此外，在气体供应机器中应用的任何软件编程被定制编码到可编程逻辑装置(PLC)上，这是昂贵的并且在系统中提供单点故障。

发明内容

本文描述的实施例涉及气体供应系统、气体面板监控系统并且涉及经由高可用性计算集群控制的气体分配平台。在一个实施例中，提供了一种气体供应系统，其包括：限定外壳的气体面板，该外壳包括气体分配歧管，其中使用螺线管调节通过气体分配歧管的气流。气体供应系统还包括冗余控制系统，该冗余控制系统与螺线管电连接。冗余控制系统被配置为将驱动信号发送到螺线管以允许或防止气体流过气体分配歧管。气体供应系统还包括通信模块，该通信模块允许冗余控制系统监控多个气体面板。监控包括接收来自气柜组件的关于组件操作状态的反馈，并且还将驱动信号从冗余控制系统传输到气体面板。

在另一个实施例中，提供了一种气体面板监控系统。该气体面板监控系统包括基于位于受控访问区域内的气体面板而布置的(多个)摄像机。气体面板监控系统还包括基于允许进入受控访问区域的访问门而布置的(多个)摄像机。还包括设备识别系统，该系统被配置为确定是否将多个设备带入受控访问区域中，并且如果是，则识别多个设备中的哪些设备要被带入受控访问区域中。在气体面板监控系统中还提供了控制器，该控制器被配置为监控来自摄像机的视频馈送数据，以便在授权对受控访问区域中的气体面板进行访问之前验证与所识别的多个设备相关的安全协议步骤被遵循。

在另一个实施例中，提供了一种通过高可用性计算集群控制的气体分配平台。该气体分配平台包括多个气体面板，每个气体面板限定在其中包括气体分配歧管的外壳，其中，使用螺线管调节通过气体分配歧管的气流。气体分配平台还包括高可用性计算集群，该高可用性计算集群被配置为从多个气体面板接收信息并将信息传送至多个气体面板。

高可用性计算集群包括控制气体面板的第一计算系统。第一计算系统具有分配的互联网协议(IP)地址，并且被配置为经由共享IP地址来托管网络服务器。高可用性计算集群还包括第二计算系统，该第二计算系统充当第一计算系统的后备。第二计算系统还具有分配的IP地址。第一计算系统和第二计算系统可以彼此互换，使得如果第一计算系统发生故障，则第二计算系统将承担对气体面板的控制，并将通过共享IP地址接管网络服务器的托管。高可用性计算集群还包括在第一计算系统和第二计算系统上独立运行的至少一个软件应用程序，该至少一个软件应用程序被配置为操作气体面板。更进一步地，高可用性计算集群包括冗余硬件接口，该冗余硬件接口被配置为将由软件应用程序生成的命令与气体面板进行传递。

提供本发明内容是为了以简化的形式介绍一些将在下面的具体实施方式中进一步描述的概念。本发明内容不旨在表明所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不旨在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

附加的特征和优点将在下面的描述中阐述，并且它们的一部分基于描述对于本领域普通技术人员来说是显而易见的，或者可以通过本文教导的实践来学习。借助于所附权利要求中特别指出的仪器和组合，可以实现和获得本文描述的实施例的特征和优点。根据以下描述和所附权利要求，本文描述的实施例的特征将变得更加明显。

附图说明