[发明专利]设有裂纹检测电路的装置和检测系统

说明书

一种设有裂纹检测电路(40)的装置，包括主体(10)和设置于所述主体(10)上的检测控制模块(30)及检测线圈(20)；所述主体(10)包括顶面(01)、底面(02)和连接在所述顶面(01)和所述底面(02)之间的侧面(03)；所述检测线圈(20)分布于所述主体(10)的边缘且环绕所述侧面(03)设置；所述检测线圈(20)两端电连接至所述检测控制模块(30)，形成闭环的检测电路(40)，所述检测电路(40)用于检测所述主体(10)的边缘区域的裂纹；所述检测线圈(20)包括多段首尾依次相连的检测段，相邻的所述检测段不共线。还包括一种裂纹检测系统。上述装置和系统实现对所述主体(10)的任意角度裂纹的检测，提高了裂纹检测的准确性和效率。

技术领域

本申请涉及电子技术领域，具体涉及一种设有裂纹检测电路的装置和检测系统。

背景技术

近年来，切割工艺在晶圆、触摸屏玻璃、液晶显示屏等基板分片过程中受到了广泛的应用，而在切割过程中这些韧性差脆性强的待切割基板受到切割应力作用后极易产生裂纹，进而使得切割后的基板分片(也叫切割单体)产生可靠性差、失效等问题。

现有技术中在切割单体的一个检测面设置沿着一个方向延伸的裂纹检测线，通过检测裂纹检测线的断裂情况来判断切割单体中是否存在与裂纹检测线相交的裂纹。但是切割裂纹的方向具有不确定性，即在切割过程中会产生任意方向的裂纹。而在切割单体的一个检测面内只存在沿着一个方向延伸的裂纹检测线，这样只能检测到与上述单方向延伸的裂纹检测线相交的切割裂纹。若存在与裂纹检测线不相交的切割裂纹，则现有技术无法检测到，从而导致切割单体中裂纹检测精度差。

如何实现更精确地检测切割单体中的裂纹，为业界持续研究的方向。

发明内容

本申请实施例提供一种设有裂纹检测电路的装置及检测系统，提高裂纹检测的精确度和检测效率。

一方面，本申请实施例提供一种设有裂纹检测电路的装置，包括主体和设置于所述主体上的检测控制模块及检测线圈；所述主体包括顶面、底面和连接在所述顶面和所述底面之间的侧面；所述检测线圈分布于所述主体的边缘，至少部分检测线圈环绕所述侧面设置；所述检测线圈两端电连接至所述检测控制模块，形成闭环的检测电路，所述检测电路用于检测所述主体的边缘区域的裂纹；所述检测线圈包括多段首尾依次相连的检测段，相邻的所述检测段之间不共线。

本申请实施例通过检测线圈在侧面的环绕设置，且相邻的检测段不共线，也就是说，相邻的检测段之间形成夹角，即相邻的检测段的延伸的方向不同，可以检测不同方向的裂纹，因此，本申请能够提升裂纹的检测精度和检测效率。

一种实施方式中，所述检测线圈包括多个依次串接的检测线单元，每个检测线单元包括至少两个所述检测段。

举例而言，每个所述检测线单元延伸呈Z形、或V形、或抛物线形状。

一种实施方式中，每个所述检测线单元包括第一检测线、第二检测线和一对第三检测线，所述第一检测线沿着所述顶面的边缘延伸的方向延伸，所述第二检测线沿着所述底面的边缘延伸的方向延伸，所述第一检测线和所述第二检测线的位置相互错开，所述一对第三检测线之一者连接在所述第一检测线和所述第二检测线之间，所述一对第三检测线之另一者连接在所述第二检测线和相邻的所述检测线单元的第一检测线之间。

进一步而言：每个所述检测线单元中，所述第一检测线和所述第二检测线延伸的方向相同，所述一对第三检测线延伸的方向相同。

一种实施方式中，所述检测线圈环绕所述侧面延伸至少两圈，至少两圈所述检测线圈在垂直于所述侧面的方向上排列，相邻圈的所述检测线单元之间彼此间隔。

一种实施方式中，相邻圈的所述检测段彼此错位设置。

一种实施方式中，最外层的所述检测线圈设置在所述侧面上，其它层的所述检测线圈内嵌在所述侧面的内部。