[发明专利]电容式MEMS麦克风及电子装置有效
| 申请号： | 201680078252.3 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN108702576B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨国权;马佑平 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 电子 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容式MEMS麦克风，包括：
振膜；以及
基板，
其中，在所述振膜与基板之间形成腔体，所述腔体以弹性体被填充，
其中，电介质间隔件被设置在所述基板上，所述振膜被设置在电介质间隔件上，并且所述腔体被所述振膜、所述电介质间隔件及所述基板所密封，
其中，所述腔体内的压力高于环境压力。
2.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述弹性体是被密封于所述腔体中的高电击穿气体。
3.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述弹性体是固态弹性体。
4.根据权利要求3所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述固态弹性体是弹性聚合物和凝胶中的至少一个。
5.根据权利要求3所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述固态弹性体通过间隙与所述腔体的侧壁分隔。
6.根据权利要求3所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述固态弹性体的弹性模量的范围为1kPa-5MPa。
7.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，顶部电极被安装于所述振膜上，以及底部电极被安装于所述基板上。
8.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述电容式MEMS麦克风的偏置电压为1-300V。
9.一种电子装置，包括根据权利要求1-8中的任意一项所述的电容式MEMS麦克风。
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