[发明专利]合波激光光源

说明书

合波激光光源具备：二维激光光源(1)，其由激光光源排列为二维状而成；二维偏转光学元件，其与所述二维激光光源(1)相对应地配置，该二维偏转光学元件具有X方向转向光学元件(3)以及Y方向转向光学元件(4)，该X方向转向光学元件(3)使所述二维激光光源的各激光光轴朝X方向偏转，该Y方向转向光学元件(4)使所述二维激光光源的各激光光轴朝Y方向偏转；以及耦合透镜，其对来自所述二维偏转光学元件(3、4)的激光进行聚光并耦合至光纤。

技术领域

本发明涉及一种合波激光光源，其对来自相互独立的多个光源的激光进行合波从而谋求高亮度化。此外，本发明涉及将上述的合波激光光源作为光源的曝光用装置、加工机、照明设备、医疗用设备。

背景技术

以往，作为谋求激光的高输出化的方法，已知有将来自多个光源的多道激光合波到一根光纤等的方法、对耦合有多个光源的光纤进行捆束而结合为一根光纤的方法(专利文献1)。

此外，为了谋求高亮度化，已知有如下的方法：使气密性封装后的多个半导体激光器的多道光束之中的、出射到与聚光光学系统的光轴不同方向的光束朝光轴的方向偏转而入射至聚光光学系统，并使被聚光光学系统聚光后的光束入射至光纤而进行合波(专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2002-202442号公报

专利文献2：日本专利特开2007-17925号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献2中，封装后的多个半导体激光器的各方所配置的位置不同，并且多个半导体激光器的各方被配置在三维上。因此，为了在三维上调整并配置多个半导体激光器的光轴，调整需要花费时间，调整成本会增加。

此外，由于半导体激光器产生热，所以需要利用散热器来使半导体激光器散热。但是，在半导体激光器的数量增加的情况下，就需要进行更多的散热，所以散热器结构会复杂化。

本发明的课题是提供一种能够容易地调整激光光源的光轴、且能够降低调整成本的合波激光光源。

解决问题的技术手段

为了解决上述问题，本发明所涉及的合波激光光源具备：二维激光光源，其由激光光源排列为二维状而成；二维偏转光学元件，其与所述二维激光光源相对应地配置，该二维偏转光学元件具有X方向转向光学元件以及Y方向转向光学元件，该X方向转向光学元件使所述二维激光光源的各激光光轴朝X方向偏转，该Y方向转向光学元件使所述二维激光光源的各激光光轴朝Y方向偏转；以及耦合透镜，其对来自所述二维偏转光学元件的激光进行聚光并耦合至光纤。

发明的效果

根据本发明，由于对配置在二维平面上的激光光源而言，能够将光轴调整限定在同一平面内，所以能够容易地调整二维激光光源的光轴。由此，能够通过调整的自动化等来降低调整成本。此外，通过二维偏转光学元件使二维激光光源的各激光光轴朝向X方向和Y方向偏转，通过耦合透镜对来自二维偏转光学元件的激光进行聚光并耦合到光纤。因此，可以谋求光束的高密度化并可以实现高输出化。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的合波激光光源的构成的图。

图2是本发明的第一实施方式的合波激光光源的使用了CAN型半导体激光器的二维激光器装配部的详细结构图。

图3是本发明的第一实施方式的合波激光光源的使用CAN型半导体激光器并在X方向被分割的二维激光器装配部的详细结构图。

图4是本发明的第一实施方式的合波激光光源的使用CAN型半导体激光器并在Y方向被分割的二维激光器装配部的详细结构图。