[发明专利]导电性粘接膜及使用其的切割芯片接合膜有效

专利信息
申请号: 201680077028.2 申请日: 2016-12-16
公开(公告)号: CN108473825B 公开(公告)日: 2023-03-03
发明(设计)人: 三原尚明;切替德之;杉山二朗 申请(专利权)人: 古河电气工业株式会社
主分类号: C09J7/10 分类号: C09J7/10;C09J4/00;C09J9/02;C09J11/04;C09J11/06;C09J163/00;C09J201/00;H01B1/00;H01B1/22;H01L21/301;H01L21/60
代理公司: 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 代理人: 郭红丽;常殿国
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 导电性 粘接膜 使用 切割 芯片 接合
【权利要求书】:

1.一种导电性粘接膜,包含金属粒子(P)以及树脂(M),

所述树脂(M)包含热固性树脂(M1),

所述金属粒子(P)的平均粒径、即d50为20μm以下,

所述金属粒子(P)包含10质量%以上的第一金属粒子(P1),所述第一金属粒子(P1)在一次粒子的状态下利用投影图观察时的分形维数为1.1以上,

所述金属粒子(P)还包含由球状金属粉构成的第二金属粒子(P2),

所述热固性树脂(M1)包含马来酰亚胺化合物,所述马来酰亚胺化合物在1分子中具有2单位以上的亚胺基,

所述热固性树脂(M1)还包含作为固化剂的线型酚醛树脂。

2.根据权利要求1所述的导电性粘接膜,其中,

所述第一金属粒子(P1)是树枝状金属粉。

3.根据权利要求2所述的导电性粘接膜,其中,

所述第一金属粒子(P1)的表面被贵金属包覆。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性粘接膜,其中,

所述第二金属粒子(P2)的平均粒径、即d50小于7μm。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性粘接膜,其中,

所述第二金属粒子(P2)包含由锡或者含锡的合金构成的金属粒子。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性粘接膜,其中,

在B阶状态下,由60℃、1Hz时的损耗弹性模量与储能弹性模量之比所定义的损耗正切、即tanδ为1.4以上。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的导电性粘接膜,其中,

所述马来酰亚胺化合物包含来源于碳数为10以上的脂肪族胺的骨架。

8.一种切割芯片接合膜,是将权利要求1至7中任一项所述的导电性粘接膜与切割带进行粘合而形成。

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