[发明专利]共焦位移计

权利要求书

1.一种共焦位移计，包括：

光投射部，其被配置为发射具有多个波长的光；

光学构件，其被配置为使所述光投射部发射的光产生沿着光轴方向的色像差，使具有该色像差的光会聚，并且使该光照射在测量对象上；

针孔构件，其包括针孔，所述针孔使得所述光学构件照射在所述测量对象上的光中的、具有在聚焦于所述测量对象的表面的同时被反射的波长的光能够穿过；

获取部，其被配置为获取表示与在所述测量对象的表面上反射的并且穿过所述针孔的光有关的各波长的强度的受光信号；

位移测量部，其被配置为基于穿过所述针孔的光的各波长的信号强度来计算所述测量对象的位移；以及

显示部，其被配置为根据所述获取部在从当前时间点之前的时间点起直到当前时间点为止的期间按固定周期获取到的多个受光信号，在当前时间点显示表示所述获取部在从所述之前的时间点直到当前时间点为止的期间获取到的受光信号的强度随时间经过的变化的信息。

2.根据权利要求1所述的共焦位移计，其中，所述显示部显示的信息包括表示从所述获取部在当前时间点之前的一个或多个时间点获取到的一个或多个受光信号的峰值向着所述获取部在当前时间点获取到的受光信号的峰值的变化的信息。

3.根据权利要求1所述的共焦位移计，其中，所述显示部显示的信息包括表示从所述获取部在当前时间点之前的时间点获取到的受光信号的波形向着所述获取部在当前时间点获取到的受光信号的波形的变化的信息。

4.根据权利要求1所述的共焦位移计，其中，还包括处理部，所述处理部被配置为能够在测量模式和确认模式下进行工作，所述测量模式用于测量所述测量对象的位移，以及所述确认模式用于使所述显示部显示表示所述受光信号的强度随时间经过的变化的信息，

其中，所述处理部在所述测量模式中基于所述获取部获取到的各波长的强度来计算所述测量对象的位移。

5.根据权利要求4所述的共焦位移计，其中，所述处理部判断所述获取部在当前时间点获取到的受光信号的峰值是否满足预定条件，并且使所述显示部将该判断的结果连同表示所述受光信号的强度随时间经过的变化的信息一起显示。

6.根据权利要求4所述的共焦位移计，其中，还包括波长范围指定部，所述波长范围指定部被配置为指定与所述获取部获取到的受光信号有关的波长的范围，

其中，所述处理部使所述显示部显示表示所述波长范围指定部所指定的波长的范围内的如下变化的信息作为表示所述受光信号的强度随时间经过的变化的信息，其中该变化是从所述获取部在当前时间点之前的时间点获取到的受光信号的峰值向着所述获取部在当前时间点获取到的受光信号的峰值的变化。

7.根据权利要求4所述的共焦位移计，其中，所述处理部在计算所述测量对象的位移之前进行校正处理，以从所述获取部获取到的受光信号中去除与排除在聚焦于所述测量对象的表面的同时被反射的光的不必要光相对应的不必要分量的至少一部分。

8.根据权利要求1所述的共焦位移计，其中，还包括：

处理装置；以及

头部，

其中，所述处理装置包括所述光投射部和所述获取部，并且还包括第一壳体，所述第一壳体被配置为容纳所述光投射部和所述获取部，以及

所述头部包括所述光学构件和所述针孔构件，并且还包括第二壳体，所述第二壳体被配置为容纳所述光学构件和所述针孔构件。

9.根据权利要求8所述的共焦位移计，其中，

所述共焦位移计包括多个所述头部，以及

所述获取部被配置为能够获取表示与从多个所述头部中的一个头部的光学构件发射的并且穿过另一头部的针孔的光有关的各波长的强度的受光信号。

10.根据权利要求1所述的共焦位移计，其中，表示所述受光信号的强度随时间经过的变化的信息是所述受光信号的峰值的趋势图。