[发明专利]具有经扩展光谱响应的固态图像传感器有效

专利信息
申请号: 201680071168.9 申请日: 2016-11-29
公开(公告)号: CN108292666B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: S·R·戈马;B-C·谢;T·G·格奥尔基耶夫 申请(专利权)人: 高通股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 赵腾飞
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 扩展 光谱 响应 固态 图像传感器
【权利要求书】:

1.一种图像传感器,其包括:

第一传感器部分;以及

第二传感器部分,其耦合到所述第一传感器部分,

其中:

包括用于NIR/IR光检测的前侧照明图像传感器的所述第一传感器部分包括:

第一光电检测器;

第一金属互连层;以及

穿过所述第一金属互连层的中空第一光管,

包括用于可见光检测的背侧照明图像传感器的所述第二传感器部分包括:

第二光电检测器;

第二金属互连层;以及

穿过所述第二金属互连层的中空第二光管,且

所述第一金属互连层接合到所述第二金属互连层,以形成组合的金属互连层,

其中所述第一光管与所述第二光管关于共轴对准,以在所述第一光电检测器与所述第二光电检测器之间的所述组合的金属互连层内,并且穿过所述组合的金属互连层形成腔,以允许光从所述第二光电检测器,穿过所述组合的金属互连层,且传递到所述第一光电检测器。

2.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第一传感器部分的厚度至少为七微米。

3.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第二传感器部分的厚度不超过五微米,并且其中,所述第二传感器部分比所述第一传感器部分薄。

4.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述图像传感器进一步包括彩色滤光片和微透镜。

5.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第一金属互连层接合到所述第二金属互连层,使得所述第一光电检测器与所述第二光电检测器关于共用轴对准。

6.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述光来源于共同方向。

7.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述光包括近红外光或红外光中的至少一者。

8.根据权利要求1所述的图像传感器,其中:

第一传感器图像进一步包括第一多个外延层;

所述第一多个外延层中的每一外延层具有不同的掺杂浓度;以及

所述第一多个外延层基于所述第一多个外延层的相应掺杂浓度布置在所述第一传感器部分内。

9.根据权利要求8所述的图像传感器,其中:

所述第二传感器部分进一步包括第二多个外延层;

所述第二多个外延层中的每一外延层具有不同的掺杂浓度;

所述第二多个外延层基于所述第二多个外延层的相应掺杂浓度布置在所述第二传感器部分内;且

所述第二多个外延层在所述第二传感器部分内的布置与所述第一多个外延层在所述第一传感器部分内的布置相反。

10.一种图像处理装置,其包括:

图像传感器,其包括:

所述图像传感器的包括用于NIR/IR光检测的前侧照明图像传感器的第一部分,其包括:第一光电检测器,

第一金属互连层,以及

中空第一光管,其穿过所述第一金属互连层而形成;

所述图像传感器的包括用于可见光检测的背侧照明图像传感器的第二部分,

其包括:

第二光电检测器,其与所述第一光电检测器关于共用轴对准,

第二金属互连层,以及

中空第二光管,其穿过所述第二金属互连层而形成,并且

所述第一金属互连层接合到所述第二金属互连层,以形成组合的金属互连层,

所述第一光管和所述第二光管关于共用轴对准,且形成穿过所述第一光电检测器与所述第二光电检测器之间的所述组合的金属互连层并在所述组合的金属互连层内的腔,以允许光从所述第二光电检测器穿过所述组合的金属互连层传递到所述第一光电检测器;以及

存储器;以及

处理器,其耦合到所述存储器,且耦合到所述图像传感器。

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