[发明专利]加速度测量仪和制造这种加速度测量仪的方法

权利要求书

1.一种加速度测量仪(1)，具有压电系统(2)、振动质量(3)和预紧组件(4)；在加速期间，所述振动质量(3)将与其加速度成比例的力施加到所述压电系统(2)上，所述力在所述压电系统(2)中产生压电电荷，并且所述压电电荷能够作为加速度信号被电量取，其特征在于，所述压电系统(2)具有两个系统元件(20，20')；所述预紧组件(4)在机械预紧的情况下与所述系统元件(20，20')直接机械接触；每个系统元件(20，20')具有电绝缘元件(21，21')；并且所述预紧组件(4)在机械预紧的情况下与所述电绝缘元件(21、21')面接触；所述振动质量(3)具有两个质量元件(30，30')；并且所述预紧组件(4)使得所述系统元件(20，20')相对所述质量元件(30，30')被机械预紧。

2.根据权利要求1所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，所述压电系统(20，20')、所述振动质量(30，30')和所述预紧组件(4)形成一压电接收器组(10)。

3.根据权利要求1所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，所述预紧组件(4)具有两个帽部(40，40')和一套筒(41)；所述帽部(40，40')和所述套筒(41)被设置在所述振动质量(3)上；并且被叠置的帽部(40，40')在机械预紧的情况下与被叠置的套筒(41)材料配合地连接。

4.根据权利要求1所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，所述系统元件(20，20')被布置在所述质量元件(30，30')的凹部(32，32')中。

5.根据权利要求1所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，所述质量元件(30、30')借助于电绝缘件(31)彼此电绝缘。

6.根据权利要求5所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，每个系统元件(20，20')具有正电极(22)和负电极(22')；所述正电极(22)接收正压电电荷；所述负电极(22')接收负压电电荷；所述正电极(22)与第一质量元件(30)电和机械地连接；并且所述负电极(22')与第二质量元件(30')电和机械地连接；以及在所述质量元件(30，30')上，压电电荷能够作为加速度信号被电量取。

7.根据权利要求6所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，所述加速度测量仪(1)具有带开口(50)的壳体(5)；并且所述质量元件(30，30')通过所述开口(50)与信号导体(8)电和机械地连接。

8.根据权利要求7所述的加速度测量仪(1)，其特征在于，所述信号导体(8)具有两个电信号导体(80，80')；所述电信号导体(80，80')直接或间接地与所述质量元件(30、30')电和机械地连接；并且所述电信号导体(80，80')将加速度信号从所述质量元件(30，30')电性地导出。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的加速度测量仪(8)，其特征在于，每个电极(22，22')具有多个电极面，所述电极面通过关节彼此机械地连接；并且每个电极(22、22')利用所述电极面来积聚多个压电元件(23，23'，23”)的压电电荷。

10.一种用于制造根据权利要求1至9中任一项所述的加速度测量仪(1)的方法，其特征在于，将系统元件(20，20')布置在质量元件(30，30')之间。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，将预紧组件(4)的两个帽部(40，40')和一套筒(41)设置在振动质量(3)上；并且被叠置的帽部(40，40')在机械预紧的情况下与被叠置的套筒(41)材料配合地连接。