[发明专利]用于钯的化学浸镀的镀浴组合物及方法有效
| 申请号: | 201680069145.4 | 申请日: | 2016-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN108291307B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
| 发明(设计)人: | 安德烈亚斯·韦尔特;克里斯托夫·舒恩特伦克;托马斯·贝克;格哈德·施泰因贝格尔;霍尔格·贝拉;海科·布鲁纳;贝恩德·弗勒泽 | 申请(专利权)人: | 埃托特克德国有限公司 |
| 主分类号: | C23C18/44 | 分类号: | C23C18/44;H01L21/288;H05K3/24 |
| 代理公司: | 11219 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 郭国清;穆德骏 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 镀浴 不饱和化合物 沉积 使用寿命 钯离子 浸镀 钯层 化学沉积 速率保持 速率调节 还原剂 基板 分解 期望 | ||
1.一种用于钯的化学沉积的水性镀浴组合物,所述水性镀浴组合物包含:
(i)至少一种钯离子的源,
(ii)至少一种钯离子的还原剂,和
(iii)至少一种不饱和化合物,所述不饱和化合物选自根据式(I)和(II)的化合物、其盐以及前述物质的混合物,
其中R1、R3、R5彼此独立地选自-H;未取代的或取代的直链C1至C20烷基基团;未取代的或取代的支链C3至C20烷基基团;和未取代的或取代的芳基基团;并且
其中R2、R4彼此独立地选自-H;未取代的或取代的直链C1至C20烷基基团;未取代的或取代的支链C3至C20烷基基团;未取代的或取代的芳基基团;和–(CH(R10))n–X–(C(R8)(R9))m–R7;并且其中如果R4是–H则R2不是–H或者如果R2是–H则R4不是–H;并且
其中R6选自未取代的或取代的直链C1至C20烷基基团;未取代的或取代的支链C3至C20烷基基团;未取代的或取代的芳基基团;和–(CH(R10))n–X–(C(R8)(R9))m–R7;并且
其中X选自O,NH和NCH3;R7选自羟基,氨基,磺酸,羧基;R8、R9、R10彼此独立地选自氢和C1至C4烷基基团;n是1至6范围内的整数;并且m是1至8范围内的整数,并且
其中所述取代的直链C1至C20烷基基团、所述取代的支链C3至C20烷基基团或所述取代的芳基基团的取代基彼此独立地选自羟基,醛,磺酸,巯基,甲氧基,乙氧基,卤素,烯丙基,乙烯基,苯基,吡啶基和萘基基团,并且
其中根据R7的所述氨基基团选自–NH(R11),–N(R11)(R12),–N+(R11)(R12)(R13),其中R11、R12、R13彼此独立地选自甲基,乙基,正丙基和异丙基;并且
其中所述水性镀浴组合物还包含至少一种选自伯胺、仲胺和叔胺的钯离子的络合剂。
2.根据权利要求1所述的水性镀浴组合物,其中R1、R3、R5彼此独立地选自–H;未取代的或取代的直链C1至C10烷基基团;未取代的或取代的支链C3至C10烷基基团;和未取代的或取代的芳基基团;并且
其中R2、R4彼此独立地选自–H;未取代的或取代的直链C1至C10烷基基团;未取代的或取代的支链C3至C10烷基基团;未取代的或取代的芳基基团;和–(CH(R10))n–X–(C(R8)(R9))m–R7;并且其中如果R4是–H则R2不是–H或者如果R2是–H则R4不是–H;并且
其中R6选自未取代的或取代的直链C1至C10烷基基团;未取代的或取代的支链C3至C10烷基基团;未取代的或取代的芳基基团;和–(CH(R10))n–X–(C(R8)(R9))m–R7;并且
其中X选自O和NH;R7选自羟基,氨基,磺酸,羧基;R8、R9、R10彼此独立地选自氢,甲基和乙基基团;n是1至4范围内的整数;并且m是1至6范围内的整数,并且
其中根据R7的所述氨基基团选自–NH(R11),–N(R11)(R12),–N+(R11)(R12)(R13),其中R11、R12、R13彼此独立地选自甲基,乙基,正丙基和异丙基。
3.根据权利要求1或2所述的水性镀浴组合物,其中根据R1、R2、R3、R4、R5、R6的所述未取代的或取代的芳基基团彼此独立地选自苯基,吡啶基和萘基。
4.根据权利要求1或2所述的水性镀浴组合物,其中所述至少一种根据式(I)和/或(II)的不饱和化合物选自丙-2-烯-1-醇,3-甲基丁-3-烯-1-醇,丙-2-炔-1-醇,3-(丙-2-炔-1-基氧基)丙烷-1-磺酸,3-(丙-2-炔-1-基氨基)-丙烷-1-磺酸,4-(丙-2-炔-1-基氧基)丁烷-1-磺酸,4-(丁-3-炔-1-基氧基)丁烷-1-磺酸,2-(吡啶-3-基)丁-3-炔-2-醇,2-(丙-2-炔-1-基氧基)乙烷-1-醇,2-(丙-2-炔-1-基氧基)-乙酸和2-(丙-2-炔-1-基氧基)丙酸。
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