[发明专利]连结型螺纹槽间隔件及真空泵

说明书

提供一种维持螺纹槽泵部的排气性能并且实现小型化的连结型螺纹槽间隔件、及配设有该连结型螺纹槽间隔件的真空泵。本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。更详细地说，将作为排气要素部的螺纹槽泵部的构造设为在圆筒状螺纹的上安装有西格巴恩形的构造的构造，是在该安装部分各零件连结的结构。即，将西格巴恩部和圆筒状螺纹(螺纹槽泵部)的流路的边界以从真空泵的轴线方向观察时大致呈直角的方式连结，将西格巴恩部和螺纹槽泵部的流路连结。借助该结构，能够将螺纹槽泵部的压缩流路长度借助被连结的西格巴恩部在径向上延伸。

技术领域

本发明涉及连结型螺纹槽间隔件及真空泵。详细地说，涉及在具有螺纹槽泵部(圆筒螺纹部)和西格巴恩泵部的真空泵中实现螺纹槽泵部的小型化的连结型螺纹槽间隔件及真空泵。

背景技术

具有西格巴恩型的结构的西格巴恩型分子泵具备旋转圆板(旋转圆盘)、被与该旋转圆板在轴向上隔开间隙(空隙)地设置的固定圆板，在该旋转圆板或固定圆板的至少某一方的间隙相向表面刻设有螺旋状槽(也称作螺旋槽或漩涡状槽)流路。并且，是如下真空泵：对向螺旋状槽流路内扩散来的气体分子，借助旋转圆板施加沿旋转圆板切线方向(即，旋转圆板的旋转方向的切线方向)的动量，由此借助螺旋状槽从吸气口向排气口施加优势的方向性来进行排气。

为了将这样的西格巴恩型分子泵、或者具有西格巴恩型分子泵部的真空泵在工业上利用，旋转圆板和固定圆板的层为单层的情况下压缩比不足，所以设置成多层化。若为了满足所需压缩性能而增加层数，则相应地泵自身的大小变大。

此外，多层化的情况下，需要将旋转圆板设为半分割的形状。这样，需要将泵的外筒(壳)设至成长达覆盖西格巴恩部(西格巴恩泵部)的长度，该情况下泵自身的大小也变大。

此外，具有螺纹槽式泵型的结构的螺纹槽型分子泵特别是在高温化规格的真空泵中，为了使螺纹部(螺纹槽部)下的压缩性能较好，使螺纹槽部的长度(螺纹长度)变长，或由设置有两个以上的多个流路的平行通路式构成等来制造。

然而，由于使螺纹长度变长而排气构造的周围构造(壳等)的部分变大，或者由于设置成平行通路而复杂的零件增加等，制造成本变大。

图14是用于说明以往的单通路螺纹式的真空泵的图。

例如，在具备流路为一个的单通路螺纹槽间隔件2001的以往的真空泵1001中，在欲使压缩性能变好的情况下，需要使螺纹槽部的轴向的长度变长。这样，若使螺纹槽部的轴向的长度变长，则需要相应地使基部3变大，所以制造成本变大。

专利文献1：日本实开平5-38389号公报。

专利文献2：日本实用新型登记第2501275号。

专利文献3：日本特开平5-10289号公报。

专利文献4：日本实公平7-34234号公报。

在专利文献1中记载了如下结构：以在真空泵中在不使其大型化的情况下使泵性能提高为目的，在转子的筒部和内筒之间也设置螺纹槽部，并且在筒部的上游侧端部设置使筒部的外侧和内侧连通的开口。

在专利文献2中记载了如下结构：在西格班形(西格巴恩型)的真空泵中，以提高排气性能并且减少旋转圆板及静止圆板的层数为目的，在靠近大气侧低真空区的多个旋转圆板及静止圆板的相向面设置方向不同的螺旋状槽。

此外，在专利文献3中对如下结构进行了记载：在复合式干燥真空泵中，以从大气压直接排气为目的，在螺纹槽泵部的后层设置能够从大气压工作的涡流槽圆盘式的西格班泵(西格巴恩泵)部来进行复合。

在专利文献4中对如下结构进行了记载：在复合式真空泵中，以实现高真空度为目的，将螺纹槽形泵要素、西格班(西格巴恩泵)形泵要素、涡流形泵要素以该顺序配设。