[发明专利]微机械构件和用于调节可调节元件的方法

权利要求书

1.微机械构件，具有：

可调节元件(10)，该可调节元件至少借助于第一弹簧元件(12a)和第二弹簧元件(12b)悬挂在所述微机械构件的保持件(14)上；和

致动器装置，该致动器装置设计为用于将所述可调节元件(10)相对于所述保持件(14)置于围绕第一旋转轴线(20)的第一调节运动(20a)中和围绕相对于所述第一旋转轴线(20)倾斜定向的第二旋转轴线(28)的第二调节运动(28a)中；其中，所述致动器装置包括：

-至少一个布置在所述第一弹簧元件(12a)上的第一永磁体(16a)和至少一个布置在所述第二弹簧元件(12b)上的第二永磁体(16b)；和

-磁性装置(40、50)，该磁性装置设计为用于分别在所述至少一个第一永磁体(16a)上并且在所述至少一个第二永磁体(16b)上这样引起磁场(18)，使得由于与所述磁场(18)的磁性相互作用，所述至少一个第一永磁体(16a)能够被置于围绕所述第一旋转轴线(20)的第一转动运动中，并且所述至少一个第二永磁体(16b)能够被置于围绕所述第一旋转轴线(20)的第二转动运动中，由此能够引起所述可调节元件(10)围绕所述第一旋转轴线(20)的所述第一调节运动(20a)；

其特征在于，

附加地，由于与所述磁场(18)的磁性相互作用，所述至少一个第一永磁体(16a)能够被激励而进行相对于所述第一旋转轴线(20)倾斜的并且相对于所述第二旋转轴线(28)倾斜的第一平移运动，并且所述至少一个第二永磁体(16b)能够被激励而进行与所述第一平移运动反向指向的第二平移运动，由此能够引起所述可调节元件(10)围绕所述第二旋转轴线(28)的所述第二调节运动(28a)。

2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述可调节元件(10)的所述第二调节运动(28a)是所述可调节元件(10)围绕所述第二旋转轴线(28)以共振频率谐振，并且，其中，由于与所述磁场(18)的磁性相互作用，所述至少一个第一永磁体(16a)能够被激励而以所述共振频率进行所述第一平移运动，并且所述至少一个第二永磁体(16b)能够被激励而以所述共振频率进行所述第二平移运动。

3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述至少一个第一永磁体(16a)围绕所述第一旋转轴线(20)的所述第一转动运动与所述至少一个第二永磁体(16b)围绕所述第一旋转轴线(20)的所述第二转动运动是同相的。

4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，能借助于所述磁性装置(40、50)引起的所述磁场(18)在所述至少一个第一永磁体(16a)上具有垂直于所述第一旋转轴线(20)定向的磁场分量(Bs)并且在所述至少一个第二永磁体(16b)上具有垂直于所述第一旋转轴线(20)定向的磁场分量(Bs)。

5.根据权利要求4所述的微机械构件，其中，能借助于所述磁性装置(40、50)引起的所述磁场(18)在所述至少一个第一永磁体(16a)上具有径向磁场分量(Br)并且在所述至少一个第二永磁体(16b)上同样具有径向磁场分量(Br)。

6.根据权利要求5所述的微机械构件，其中，所述磁性装置(40、50)设计为用于以至少一个第一频率调制垂直于所述第一旋转轴线(20)定向的磁场分量(Bs)，并且以不同于所述第一频率的至少一个第二频率调制所述径向磁场分量(Br)。

7.根据权利要求4所述的微机械构件，其中，所述至少一个第一永磁体(16a)具有垂直于所述第一旋转轴线(20)定向的第一极性(56a)，并且所述至少一个第二永磁体(16b)具有与所述第一极性(56a)反向指向的第二极性(56b)，并且，其中，能借助于所述磁性装置(40、50)引起的所述磁场(18)不仅在所述至少一个第一永磁体(16a)上而且在所述至少一个第二永磁体(16b)上具有垂直于所述第一旋转轴线(20)定向的场强梯度。