[发明专利]压电挠曲传感器以及检测装置

说明书

提供一种能够以较高的检测效率检测挠曲的压电挠曲传感器。压电挠曲传感器(1)具备：第1压电板(11)，极化轴方向(P1)平行于第1以及第2主面(11a以及11b)；第1、第2分割电极(12、13)，被设置于第1压电板(11)的第1主面(11a)；和第3、第4分割电极(14、15)，被设置于第1压电板(11)的第2主面(11b)。通过第1压电板(11)以及第1～第4分割电极(12～15)来构成压电元件(2)。第1分割电极(12)与第3分割电极(14)隔着第1压电板(11)而相互对置，第2分割电极(13)与第4分割电极(15)隔着第1压电板(11)而相互对置。第1分割电极(12)与第4分割电极(15)被电连接，第2分割电极(13)与第3分割电极(14)被电连接。

技术领域

本发明涉及用于对基板等的挠曲进行检测的压电挠曲传感器以及检测装置。

背景技术

以往，作为对基板等的挠曲进行检测的传感器，例如，已知下述的专利文献1所述的利用d31模式的压电传感器。

专利文献1所述的压电传感器具有双压电构造。该压电传感器具有上层的压电薄膜和下层的压电薄膜。在检测挠曲时，对基于上层的压电薄膜的输出以及基于下层的压电薄膜的输出进行测定，例如修正上层的输出。由此，由于压电传感器的热电效应而产生的上层的电荷与下层的电荷被抵消。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开昭62-156503号公报

发明内容

-发明要解决的课题-

但是，在专利文献1所述的压电传感器中，需要测定上层的输出和下层的输出，并且必须设置修正电路。因此，检测效率不良。

本发明的目的在于，提供一种能够以较高的检测效率检测挠曲的压电挠曲传感器以及检测装置。

-解决课题的手段-

本发明所涉及的压电挠曲传感器具备：第1压电板，平面形状为矩形或者正方形，具有第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，该第1压电板的极化轴方向平行于所述第1以及第2主面、并且是沿着所述矩形或者正方形的任意边的方向；第1、第2分割电极，被设置于所述第1压电板的所述第1主面，隔着在与所述第1压电板的极化轴方向交叉的方向上延伸的第1电极非形成区域，沿着所述第1压电板的极化轴方向而被配置；和第3、第4分割电极，被设置于所述第1压电板的所述第2主面，隔着在与所述第1压电板的极化轴方向交叉的方向上延伸的第2电极非形成区域，沿着所述第1压电板的极化轴方向而被配置，所述压电挠曲传感器构成压电元件，其具有所述第1压电板以及所述第1～第4分割电极，具有相互对置的第1、第2主面、相互对置的第1、第2侧面以及相互对置的第1、第2端面，所述第1分割电极与所述第3分割电极隔着所述第1压电板而相互对置，所述第2分割电极与所述第4分割电极隔着所述第1压电板而相互对置，所述第1分割电极与所述第4分割电极被电连接，所述第2分割电极与所述第3分割电极被电连接。

在本发明所涉及的压电挠曲传感器的某个特定的方面，进一步具备：第1外部电极，将所述第1分割电极与所述第4分割电极电连接；和第2外部电极，将所述第2分割电极与所述第3分割电极电连接。

在本发明所涉及的压电挠曲传感器的其他特定的方面，所述第1、第2电极非形成区域在与所述第1压电板的极化轴方向正交的方向上延伸。

在本发明所涉及的压电挠曲传感器的又一特定的方面，所述第1～第4分割电极未在所述压电元件的所述第1、第2侧面露出。在该情况下，杂质难以附着于第1～第4分割电极以及第1～第4分割电极之间。因此，绝缘电阻难以变低。

在本发明所涉及的压电挠曲传感器的其它特定的方面，所述压电元件具有在所述第1压电板层叠的第2压电板，