[发明专利]具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器有效
| 申请号: | 201680065404.6 | 申请日: | 2016-09-12 |
| 公开(公告)号: | CN108475651B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
| 发明(设计)人: | A·M·蒂班;C·斯缇克浩斯尔 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 顾晨昕 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 改进 衬底 保持 门闩 协助 机构 容器 | ||
1.一种衬底容器,其包括
容器部分,其包含界定开口的门框;
门,其经配置以安装在所述门框内;
致动连杆组组合件,其包含框架、衬底保持件组合件及心轴,所述心轴经枢转安装到所述框架且安装到所述衬底保持件组合件,所述框架经安装到所述容器部分的内壁,所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中,
其中如果所述致动连杆组组合件配置于衬底保持位置中,当所述门座落在所述门框内时,所述衬底保持件组合件经配置以与所述门接触且由所述门致动,
其中如果所述致动连杆组组合件配置于衬底非保持位置中,当所述门不在所述门框内时,所述衬底保持件组合件经配置以延伸到所述门框的所述开口中;及
偏置部件,其经操作耦合到所述框架、所述心轴及所述衬底保持件组合件中的至少一者,所述偏置部件将所述致动连杆组组合件偏置于所述衬底非保持位置中,其中所述偏置部件包含弹簧臂,所述弹簧臂从所述框架延伸且接触所述心轴及所述衬底保持件组合件中的一者,且其中所述弹簧臂滑动接触所述心轴。
2.根据权利要求1所述的衬底容器,其进一步包括:
轮和轴部件,所述轮和所述轴部件经安装到所述衬底保持件组合件的下端,所述轴部件通过界定于所述衬底保持件组合件的所述下端处的夹入式结构保持到所述衬底保持件组合件;及
轮保持夹,其经安装到所述衬底保持件组合件且经配置以防止所述轴部件从所述衬底保持件组合件释放,
其中如果所述致动连杆组组合件配置于衬底保持位置中,当所述门座落在所述门框内时,所述衬底保持件组合件与所述轮接触且由所述门致动,所述轮经配置以沿着所述门的内表面滚动。
3.根据权利要求2所述的衬底容器,其中所述轮保持夹包含多个钩部分,其与所述衬底保持件组合件耦合以将所述轮保持夹固定到所述衬底保持件组合件。
4.根据权利要求3所述的衬底容器,其中:
所述衬底保持件组合件包含界定孔隙的基底;
所述轮保持夹的所述多个钩部分中的至少一者经耦合到所述孔隙的周边;及
所述轮保持夹包含用于在所述孔隙内配准所述轮保持夹的配准结构。
5.根据权利要求2所述的衬底容器,其进一步包括在所述衬底保持件组合件的所述下端处的轮轭,所述轮和所述轴部件经安装到所述轮轭,其中:
所述轮保持夹包含多个钩部分,其与所述衬底保持件组合件耦合以将所述轮保持夹固定到所述衬底保持件组合件;
所述衬底保持件组合件的所述夹入式结构包含弹性悬臂,所述弹性悬臂对所述轴部件施加偏置力以将所述轴部件保持在所述轮轭内;及
所述轮保持夹经配置以防止所述夹入式结构的所述弹性悬臂偏转,借此防止所述夹入式结构释放所述轴部件。
6.根据权利要求5所述的衬底容器,其中所述轮保持夹的所述多个钩部分中的至少一者与所述轮轭耦合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





