[发明专利]一种光刻设备和光刻系统

权利要求书

1.一种光刻设备，其特征在于，包括：

光开关和N个光子器件，所述光开关包括N个子光开关，所述N个子光开关与所述N个光子器件一一对应，所述N为正整数且N≥2；

每个子光开关的状态包括开启状态和关闭状态，处于开启状态的子光开关用于将光束传输至对应的光子器件，处于关闭状态的子光开关不能将光束传输至对应的光子器件；

每个光子器件包括分束装置和聚焦透镜；

所述分束装置用于将从对应的子光开关接收的一路光束分为至少两路光束，并将所述至少两路光束传输至所述聚焦透镜；

所述聚焦透镜用于将所述至少两路光束聚焦到基底上形成干涉图案；

所述光刻设备根据需要制备的干涉图案打开子光开关或者关闭子光开关，并通过处于开启状态的子光开关在基材表面形成所述需要制备的干涉图案。

2.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，所述分束装置包括光接收器、波导和分束器，

所述光接收器于接收所述光开关传输的光束，所述波导用于将光束从所述光接收器传输至所述分束器，所述分束器用于将一路光束分为两路光束，所述波导还用于将光束从所述分束器传输至所述聚焦透镜。

3.根据权利要求2所述的光刻设备，其特征在于，所述分束装置还包括光路由器，所述光路由器用于控制光束的传输路径。

4.根据权利要求2或3所述的光刻设备，其特征在于，所述分束器为非偏振分束器，所述非偏振分束器分离后的至少两路光束的偏振方向相同。

5.根据权利要求2或3所述的光刻设备，其特征在于，所述光接收器的孔径大于入射光束的宽度或直径，所述入射光束为所述光开关传输至所述光子器件的光束。

6.根据权利要求2或3所述的光刻设备，其特征在于，所述波导的直径等于入射光束的宽度或直径，所述入射光束为所述光开关传输至所述光子器件的光束。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的光刻设备，其特征在于，所述光开关包括数字微镜器件DMD或由电子可变反射比微器件组成的光开关。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备包括光源设备，所述光源设备用于生成光束并将光束发射至所述光开关。

9.根据权利要求8所述的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备包括扩束器，所述扩束器用于扩大所述光源设备生成的光束的宽度或直径。

10.根据权利要求8所述的光刻设备，其特征在于，所述光源设备包括激光产生器和光束分离器，所述光束分离器用于将所述激光产生器生成的一束激光分成至少两束激光。

11.一种光刻系统，其特征在于，所述光刻系统包括：至少两个根据权利要求1至10中任一项所述的光刻设备。