[发明专利]流体控制装置、减压装置以及加压装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其中，具备：

平板状构造的外壳，其具备包围内部空间的顶板、侧板以及底板，设置有使所述内部空间与外部空间相通的流入口和排出口；

泵，其具有阀部和致动器，其中，所述阀部将所述内部空间分隔为与所述流入口连通的第一气室和与所述排出口连通的第二气室，在所述第一气室和所述第二气室之间，限制所述流体的流动方向，所述致动器使所述第一气室和所述第二气室之间产生流体的流动；以及

固定部件，其固定所述外壳，

所述第一气室和所述第二气室中的一个气室位于所述外壳的底板侧，另一个气室位于所述外壳的顶板侧，

所述外壳将所述顶板或者所述底板作为安装面安装于所述固定部件，

所述致动器具有振动板和使该振动板振动的压电元件，通过所述振动板的振动，使所述第一气室和所述第二气室之间产生压力差，

所述泵具有由所述振动板、泵侧板和阀底板形成的泵室和由所述阀底板、阀侧板和阀顶板形成的阀室，所述阀室具有能对所述第一气室和所述第二气室间的连通和不连通进行切换的膜。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

在所述阀部动作过程中，所述第一气室和所述第二气室中位于接近所述安装面一侧的一个气室与所述外部空间之间的压力差大于另一个气室。

3.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

在所述阀部动作过程中，所述第一气室和所述第二气室中位于接近所述安装面一侧的一个气室与所述外部空间之间的压力差小于另一个气室。

4.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

具备使所述内部空间与压力容器相通的喷嘴，该喷嘴从所述安装面突出，以穿过所述固定部件。

5.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，

具备使所述内部空间与压力容器相通的喷嘴，该喷嘴从所述安装面突出，以穿过所述固定部件。

6.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，

具备使所述内部空间与压力容器相通的喷嘴，该喷嘴从所述安装面突出，以穿过所述固定部件。

7.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

具备使所述内部空间与压力容器相通的喷嘴，该喷嘴设置于所述侧板。

8.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，

具备使所述内部空间与压力容器相通的喷嘴，该喷嘴设置于所述侧板。

9.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，

具备使所述内部空间与压力容器相通的喷嘴，该喷嘴设置于所述侧板。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的流体控制装置，其中，

还具备使所述阀部间歇地动作的控制部。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的流体控制装置，其中，

除所述排出口或所述流入口以外的所述外壳的所述顶板整体安装于所述固定部件。

12.根据权利要求10所述的流体控制装置，其中，

除所述排出口或所述流入口以外的所述外壳的所述顶板整体安装于所述固定部件。

13.根据权利要求1至9、12中任一项所述的流体控制装置，其中，

除所述排出口或所述流入口以外的所述外壳的所述底板整体安装于所述固定部件。

14.根据权利要求10所述的流体控制装置，其中，

除所述排出口或所述流入口以外的所述外壳的所述底板整体安装于所述固定部件。

15.根据权利要求11所述的流体控制装置，其中，

除所述排出口或所述流入口以外的所述外壳的所述底板整体安装于所述固定部件。